สวัสดีเพื่อน.
เรื่องราวเริ่มเร็วขึ้นเล็กน้อย เมื่อเราได้ห้องสุญญากาศ เส้นทางที่เธอมาหาเรานั้นไม่ได้อยู่ใกล้กันและสามารถอธิบายเป็นเรื่องราวแยกต่างหากได้ แต่อย่างที่พวกเขาพูดกันว่าเป็น "เรื่องราวที่แตกต่างไปจากเดิมอย่างสิ้นเชิง" ฉันสามารถพูดได้เพียงว่าก่อนหน้านี้มันทำให้ผู้คนได้รับประโยชน์จากหนึ่งในห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัย Göttingen
สิ่งแรกที่เราเริ่มใช้ห้องสุญญากาศด้วยคือลองใช้วิธีการสะสมความร้อนของโลหะบนพื้นผิว วิธีการนี้เรียบง่ายและเก่าแก่เหมือนโลก เป้าหมายของโลหะที่สปัตเตอร์ เช่น เงิน ถูกวางไว้ในเบ้าหลอมโมลิบดีนัม วางไว้รอบๆ องค์ประกอบความร้อน. เราใช้ลวดโลหะผสมทังสเตน-รีเนียมซึ่งมีการพันเป็นเกลียว
อุปกรณ์สเปรย์ความร้อนที่สมบูรณ์ดูเหมือน ด้วยวิธีดังต่อไปนี้:
เครื่องมือสำหรับการพ่นด้วยความร้อนของโลหะ ก. ประกอบแล้ว (ถอดหน้าจอป้องกันและวาล์วออก) การกำหนด: 1 – เบ้าหลอม 2 – องค์ประกอบความร้อน 3 – ท่อไอน้ำ 4 – ตะกั่วปัจจุบัน 5 – เทอร์โมคัปเปิล 6 – เฟรมตัวอย่าง
หลังจากกระแสไหลผ่าน (เข้าไปในห้องสูญญากาศผ่านผนึกแรงดัน) เกลียวจะร้อนขึ้นทำให้เรือร้อนขึ้นซึ่งวัสดุเป้าหมายก็ร้อนขึ้นและระเหยไปด้วย เมฆของไอโลหะลอยขึ้นตามท่อส่งไอน้ำและห่อหุ้มร่างกายซึ่งจำเป็นต้องวางฟิล์มโลหะไว้
วิธีการนั้นเรียบง่ายและดี แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน: การใช้พลังงานสูง เป็นการยากที่จะวางพื้นผิว (ตัว) ไว้ในก้อนเมฆไอน้ำซึ่งจำเป็นต้องวางฟิล์มไว้ การยึดเกาะยังไม่ดีที่สุด นำไปใช้กับ วัสดุต่างๆรวมถึงโลหะ แก้ว พลาสติก ฯลฯ โดยพื้นฐานแล้ว - เพื่อวัตถุประสงค์ในการวิจัย เนื่องจากเราเชี่ยวชาญเฉพาะอุปกรณ์สูญญากาศเท่านั้น
ตอนนี้ได้เวลาพูดถึงระบบสุญญากาศแล้ว การทดลองได้ดำเนินการในห้องสุญญากาศที่ติดตั้งระบบสุญญากาศซึ่งประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศด้านหน้าแบบโรตารี่และเทอร์โบโมเลคิวลาร์ และจัดให้มีแรงดันตกค้าง 9.5 10 -6 - 1.2 10 -5 มม. ปรอท
หากในแวบแรกดูเหมือนว่าไม่ยากแล้วที่จริงแล้วไม่ใช่ ประการแรก ตัวห้องต้องมีความหนาแน่นที่จำเป็นต่อการรักษาสุญญากาศในระดับสูง ทำได้โดยการปิดผนึกครีบและช่องเปิดที่ใช้งานได้ทั้งหมด โดยหลักการแล้วฝาครอบครีบบนและล่างจะเหมือนกัน ซีลยางรวมถึงรูที่เล็กที่สุดที่ออกแบบมาสำหรับการติดตั้งหน้าต่าง เซ็นเซอร์ อุปกรณ์ ซีลแรงดัน และฝาครอบหน้าแปลนอื่นๆ เฉพาะเส้นผ่านศูนย์กลางที่ใหญ่กว่ามากเท่านั้น ตัวอย่างเช่น เพื่อการปิดผนึกที่เชื่อถือได้ของรูดังกล่าว
ต้องใช้หน้าแปลน ประเก็น และรัด ตามภาพนี้
เซ็นเซอร์นี้จะวัดสูญญากาศในห้องเพาะเลี้ยง สัญญาณจากอุปกรณ์ไปที่อุปกรณ์ซึ่งแสดงระดับสูญญากาศสูง
เครื่องดูดฝุ่น ระดับที่ต้องการ(เช่น 10-5 mmHg) ทำได้ดังนี้ ขั้นแรก ปั๊มสุญญากาศด้านหน้าถูกปั๊มสุญญากาศระดับต่ำออกไปที่ระดับ 10-2 เมื่อไปถึงระดับนี้ ปั๊มสุญญากาศสูง (เทอร์โบโมเลคิวลาร์) จะเปิดขึ้น ซึ่งโรเตอร์สามารถหมุนได้ที่ความเร็ว 40,000 รอบต่อนาที ในเวลาเดียวกัน ปั๊ม foreline ยังคงทำงาน - ปั๊มแรงดันจากปั๊ม turbomolecular เอง หลังเป็นหน่วยที่ค่อนข้างตามอำเภอใจและอุปกรณ์ "บาง" ของมันมีบทบาทบางอย่างในเรื่องนี้ เราใช้เครื่องสูบน้ำเทอร์โบโมเลคิวลาร์แบบสุญญากาศของโอซาก้าของญี่ปุ่น
แนะนำให้ปล่อยอากาศที่สูบออกจากห้องที่มีไอน้ำมันออกสู่บรรยากาศ เนื่องจากหยดน้ำมันละเอียดสามารถ "กระเซ็น" ไปทั่วทั้งห้องได้
หลังจากจัดการกับระบบสูญญากาศและคำนวณการสะสมความร้อน เราจึงตัดสินใจลองใช้วิธีอื่นในการเคลือบฟิล์ม - แมกนีตรอน เรามีประสบการณ์ยาวนานในการสื่อสารกับห้องปฏิบัติการขนาดใหญ่แห่งหนึ่ง ซึ่งนำการเคลือบนาโนที่ใช้งานได้มาใช้กับการพัฒนาบางส่วนของเราโดยใช้วิธีการแมกนีตรอนสปัตเตอร์ นอกจากนี้ เรามีความสัมพันธ์ใกล้ชิดกับบางหน่วยงานของ MEPhI, Moscow Higher Technical School และมหาวิทยาลัยอื่นๆ ซึ่งช่วยให้เราเชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีนี้ด้วย
แต่เมื่อเวลาผ่านไป เราต้องการใช้ความเป็นไปได้ที่ช่องสูญญากาศมีให้มากขึ้น
ในไม่ช้า เราก็มีแมกนีตรอนขนาดเล็ก ซึ่งเราตัดสินใจปรับให้เข้ากับชั้นฟิล์ม
เป็นวิธีสูญญากาศแมกนีตรอนสำหรับการสะสมของโลหะบางและฟิล์มเซรามิกซึ่งถือเป็นหนึ่งในวิธีการสะสมทางกายภาพที่ให้ประสิทธิผล ประหยัด และง่ายที่สุดวิธีหนึ่ง ได้แก่ การระเหยด้วยความร้อน แมกนีตรอน ไอออน เลเซอร์ ลำอิเล็กตรอน แมกนีตรอนถูกติดตั้งไว้ที่ครีบอันใดอันหนึ่งซึ่งสะดวกต่อการใช้งาน อย่างไรก็ตาม นี่ยังไม่เพียงพอสำหรับการสะสม เนื่องจากต้องใช้แรงดันไฟฟ้า น้ำหล่อเย็น และก๊าซเพื่อให้แน่ใจถึงการจุดไฟในพลาสมา
เพื่อนในมหาวิทยาลัยของเราได้สร้างแหล่งจ่ายไฟ DC ที่มีกำลังไฟประมาณ 500 วัตต์สำหรับเครื่องแมกนีตรอนเครื่องนี้
นอกจากนี้เรายังได้สร้างระบบจ่ายก๊าซสำหรับก๊าซอาร์กอนที่สร้างพลาสมา
เพื่อรองรับวัตถุที่จะฉีดพ่นฟิล์ม เราได้สร้างอุปกรณ์ดังต่อไปนี้ มีช่องโหว่ทางเทคโนโลยีในฝาห้องเพาะเลี้ยง ซึ่งสามารถติดตั้งอุปกรณ์ต่างๆ ได้: แหล่งจ่ายพลังงานไฟฟ้า แรงดันป้อนเข้า หน้าต่างโปร่งใส เซ็นเซอร์ และอื่นๆ ในรูใดรูหนึ่งเหล่านี้ เราได้ติดตั้งซีลแรงดันของเพลาหมุน นอกห้องเพาะเลี้ยง เรานำการหมุนมาที่เพลานี้จากมอเตอร์ไฟฟ้าขนาดเล็ก โดยการตั้งค่าความเร็วของการหมุนของดรัมที่ลำดับ 2-5 เฮิรตซ์ เราได้รับความสม่ำเสมอที่ดีในการใช้ฟิล์มรอบๆ เส้นรอบวงของดรัม
จากด้านล่าง กล่าวคือ ภายในห้องนั้น เราติดตะกร้าโลหะเบาไว้บนด้าม ซึ่งสามารถแขวนสิ่งของต่างๆ ได้ ในร้านขายเครื่องเขียน กลองมาตรฐานดังกล่าวขายเป็นตะกร้าขยะและมีราคาประมาณ 100 รูเบิล
ตอนนี้เรามีสินค้าเกือบทุกอย่างที่จำเป็นสำหรับการติดฟิล์มแล้ว เราใช้โลหะต่อไปนี้เป็นเป้าหมาย: ทองแดง ไททาเนียม สแตนเลส อะลูมิเนียม โลหะผสมทองแดง-โครเมียม
และพวกเขาก็เริ่มฝุ่น ผ่านหน้าต่างโปร่งใสเข้าไปในห้อง เราสามารถสังเกตพลาสมาเรืองแสงบนพื้นผิวของเป้าหมายแมกนีตรอน ด้วยวิธีนี้ เราควบคุม “ด้วยตา” โมเมนต์ของการจุดไฟในพลาสมาและความเข้มข้นของการสะสมตัว
วิธีการควบคุมความหนาของการฉีดพ่นนั้นทำได้ค่อนข้างง่าย วางฟอยล์ชิ้นเดียวกันกับพื้นที่ผิวที่วัดได้บนถังซัก และวัดมวลของฟอยล์ก่อนและหลังช่วงการฉีดพ่น เมื่อทราบความหนาแน่นของโลหะที่สะสม ความหนาของสารเคลือบที่สะสมก็คำนวณได้ง่าย ความหนาของการเคลือบถูกควบคุมโดยการเปลี่ยนเวลาการสะสมหรือโดยการปรับแรงดันไฟฟ้าที่แหล่งพลังงานแมกนีตรอน ภาพนี้แสดงเครื่องชั่งที่แม่นยำซึ่งช่วยให้คุณวัดมวลของตัวอย่างได้อย่างแม่นยำถึงหนึ่งหมื่นกรัม
เราใส่ วัสดุต่างๆ: ไม้, โลหะ, ฟอยล์, พลาสติก, กระดาษ, ฟิล์มโพลีเอทิลีน, ผ้า, พูดง่ายๆ ก็คือ ทุกสิ่งทุกอย่างที่สามารถใส่เข้าไปในห้องและติดเข้ากับถังซักได้. โดยพื้นฐานแล้ว เรามุ่งเน้นไปที่การได้รับเอฟเฟกต์การตกแต่ง - การเปลี่ยนสีหรือการรับรู้ที่สัมผัสได้ของพื้นผิว ในตัวอย่างแหล่งกำเนิดอินทรีย์และอนินทรีย์เหล่านี้ คุณจะเห็นความแตกต่างของสีก่อนและหลังการใช้ฟิล์มโลหะต่างๆ
ยิ่งเห็นความแตกต่างของสีก่อนและหลังการพ่นบนผ้าและฟิล์มได้ชัดเจนยิ่งขึ้น นี่คือชิ้นส่วนที่ถูกต้องของปกติ ฟิล์มโพลีเอทิลีน- ไม่ฉีดพ่น แต่ด้านซ้ายปกคลุมด้วยชั้นทองแดง
ผลกระทบอีกประการหนึ่งที่สามารถใช้ได้กับความต้องการที่หลากหลายคือการนำของฟิล์มบางบนพื้นผิว ภาพนี้แสดงความต้านทานของแผ่นกระดาษ (เป็นโอห์ม) ที่มีชั้นไททาเนียมบางๆ ที่มีความหนาเพียงไมครอน
สำหรับการพัฒนาเพิ่มเติม เราได้เลือกหลายทิศทาง หนึ่งในนั้นคือการปรับปรุงประสิทธิภาพการสะสมฟิล์มด้วยแมกนีตรอน เราจะ "เหวี่ยง" ไปที่การพัฒนาและการผลิตแมกนีตรอนที่ทรงพลังกว่าด้วยความสูงของกล้องและพลังที่มากกว่าที่แสดงในบทความนี้ถึง 2 เท่า นอกจากนี้เรายังต้องการทดสอบเทคโนโลยีของการสะสมปฏิกิริยาเมื่อรวมกับอาร์กอนก๊าซที่สร้างพลาสมาออกซิเจนหรือไนโตรเจนถูกป้อนเข้าไปในห้องและในระหว่างการสะสมฟิล์มบนพื้นผิวของพื้นผิวไม่ใช่ฟิล์มโลหะบริสุทธิ์ แต่ออกไซด์หรือไนไตรด์ซึ่งมีคุณสมบัติช่วงต่างจากสารบริสุทธิ์ ฟิล์มโลหะ
ในการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติพื้นฐานของโลหะ พลาสติก เซรามิก หรือวัสดุอื่นๆ สามารถทำกระบวนการทำให้เป็นโลหะได้ การชุบสูญญากาศเป็นหนึ่งในวิธีการชุบโลหะที่พบบ่อยที่สุด เนื่องจากพื้นผิวป้องกันถูกสร้างขึ้นด้วยคุณสมบัติบางอย่างที่ผิดปกติสำหรับพื้นผิว ให้เราพิจารณาคุณสมบัติของเทคโนโลยีการเคลือบโลหะด้วยสุญญากาศโดยละเอียดยิ่งขึ้น
วิธีการแปรรูปชิ้นส่วนที่พิจารณาแล้วนั้นใช้มาช้านาน การทำให้เป็นโลหะด้วยสุญญากาศเป็นกระบวนการที่อาศัยการระเหยและการสะสมของคอนเดนเสทของวัสดุลงบนพื้นผิว ในบรรดาคุณสมบัติของกระบวนการนี้ ควรสังเกตประเด็นต่อไปนี้:
โรงงานหลอมโลหะสูญญากาศ
เทคโนโลยีการชุบสูญญากาศเหมาะสำหรับการแปรรูปมากที่สุด ส่วนต่างๆ. ตัวอย่างคือ วัสดุม้วนทำจากพลาสติกหรือพลาสติก
เทคโนโลยีทั่วไปประกอบด้วยหลายขั้นตอนหลัก:
ผลลัพธ์ของการชุบโลหะด้วยสุญญากาศ
เทคโนโลยีการชุบโลหะด้วยสุญญากาศของพลาสติกและวัสดุอื่น ๆ นั้นซับซ้อน เพื่อให้ได้พื้นผิวที่มีคุณภาพสูงต้องปฏิบัติตามเงื่อนไขการประมวลผลทั้งหมด
เมื่อพิจารณาถึงขอบเขตของเทคโนโลยีนี้ เราสังเกตว่าสามารถใช้เคลือบวัสดุต่อไปนี้ได้:
ที่แพร่หลายที่สุดคือการทำให้เป็นโลหะของผลิตภัณฑ์พลาสติก นี่เป็นเพราะว่าด้วยวิธีนี้ผลิตภัณฑ์ที่ทำจากพลาสติกราคาถูกจะได้มามากกว่า รูปลักษณ์ที่น่าดึงดูด.
หากคุณต้องการประหยัดในการผลิต แต่ในขณะเดียวกันก็รับประกันคุณภาพการตกแต่งที่สูง ให้ฉีดพ่นอะลูมิเนียมหรือโลหะอื่นๆ
ตัวอย่าง ได้แก่ การผลิตชิ้นส่วนรถยนต์ที่ใช้ในการตกแต่งภายใน ผู้ผลิตรถยนต์จีนและญี่ปุ่นได้เริ่มใช้เทคโนโลยีดังกล่าวเพื่อลดต้นทุนของรถยนต์มานานแล้ว ในเวลาเดียวกัน การใช้การทำให้เป็นโลหะแบบสุญญากาศนั้นไม่เพียงแต่ดำเนินการใน วัตถุประสงค์ในการตกแต่งเนื่องจากชั้นผิวมีความแข็งแรงสูง ชิ้นส่วนมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น ระดับความเสียดทานจึงลดลง อย่างไรก็ตาม การทำให้เป็นโลหะไม่ได้ช่วยเพิ่มความแข็งแรงของผลิตภัณฑ์พอลิเมอร์ทั้งหมด
เทคโนโลยีนี้ยังใช้ในการผลิตสิ่งของต่าง ๆ ที่ใช้ในชีวิตประจำวัน เครื่องประดับราคาไม่แพง การกระจายในวงกว้างเกิดจากการที่ชั้นผิวไม่สึกหรอตลอดระยะเวลาการทำงาน เทคโนโลยีการพ่นที่ใช้ก่อนหน้านี้ไม่ได้ให้การยึดเกาะสูงระหว่างพื้นผิวและสารเคลือบตกแต่ง
เทคโนโลยีนี้มีข้อดีค่อนข้างมาก:
หากเราพิจารณาถึงข้อเสียก็ควรสังเกตความซับซ้อนของกระบวนการเปลี่ยนสารที่ฉีดพ่นจากสถานะหนึ่งไปยังอีกสถานะหนึ่ง สามารถตรวจสอบเงื่อนไขที่จำเป็นระหว่างการติดตั้งเท่านั้น อุปกรณ์พิเศษ. ดังนั้นด้วยมือของคุณเองให้ดำเนินการทำให้เป็นโลหะสูญญากาศด้วยข้อกำหนด คุณภาพสูงพื้นผิวแทบจะเป็นไปไม่ได้
โดยสรุปเราทราบว่าแม้ความหนาของชั้นโลหะบน เคลือบโพลีเมอร์มันสามารถให้พอลิเมอร์เป็นเงาโลหะและการนำไฟฟ้า ปกป้องโครงสร้างจากการสัมผัสกับแสงแดดและการเสื่อมสภาพในชั้นบรรยากาศ ในกรณีนี้ เลเยอร์ที่สร้างขึ้นอาจมีความหนาเพียงไม่กี่เศษส่วนของมิลลิเมตร เนื่องจากน้ำหนักของผลิตภัณฑ์ยังคงไม่เปลี่ยนแปลงในทางปฏิบัติ นอกจากนี้ การชุบโลหะด้วยสุญญากาศยังทำให้ได้ชิ้นงานที่สมบูรณ์ วัสดุที่เป็นเอกลักษณ์ซึ่งจะมีความยืดหยุ่นและเบาตลอดจนคุณสมบัติที่มีอยู่ในโลหะ
การนำทาง:
กระบวนการ การสะสมสูญญากาศประกอบด้วยกลุ่มวิธีการสะสมของสารเคลือบ (ฟิล์มที่บางที่สุด) ในทรงกลมสุญญากาศ ซึ่งการชดเชยจะเกิดขึ้นจากการควบแน่นโดยตรงของไอที่เกิดจากองค์ประกอบ
มีขั้นตอนต่อไปนี้ของการสะสมสูญญากาศ:
รายการวิธีการตกตะกอนด้วยสุญญากาศประกอบด้วยการเคลื่อนไหวทางวิทยาศาสตร์และทางเทคนิคต่อไปนี้ และนอกจากนี้ ประเภทการดำเนินการที่รวดเร็ว
รายการวิธีการพ่นด้วยความร้อน:
การระเหยอาร์คสูญญากาศ:
การกระเจิงของไอออน:
แอปพลิเคชัน
การชดเชยสูญญากาศใช้ในการพัฒนาส่วนประกอบในระนาบ อุปกรณ์ และกลไกของสารเคลือบในการใช้งาน - ตัวนำ ฉนวน ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการกัดกร่อน การปรับแต่งเหล่านี้ใช้เพื่อเคลือบตกแต่ง ตัวอย่างเช่น เมื่อประกอบการเคลื่อนไหวของนาฬิกาด้วยพื้นผิวที่ปิดทองและกรอบแว่นที่เคลือบ หนึ่งในการดำเนินงานหลักของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ซึ่งใช้เพื่อวัตถุประสงค์ในการใช้ชั้นที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า (การทำให้เป็นโลหะ) การชดเชยสูญญากาศใช้เพื่อแยกการเคลือบด้วยแสง: สารป้องกันการสะท้อน, การสะท้อนแสง, การกรอง
ก๊าซที่ออกฤทธิ์ทางเคมี เช่น อะเซทิลีน (สำหรับวัตถุประสงค์ในการเคลือบที่มีคาร์บอน) ที่ไม่ใช่โลหะ ช่องว่างอากาศ สามารถนำไปใช้ในด้านวิทยาศาสตร์และเทคนิคได้ เคมี. การตอบสนองในระนาบของพื้นผิวถูกกระตุ้นโดยความร้อน หรือโดยการแตกตัวเป็นไอออนและการแยกตัวของก๊าซในรูปแบบใดรูปแบบหนึ่งของระบบแก๊ส
ด้วยการใช้วิธีการสะสมแบบสุญญากาศทำให้ได้สารเคลือบความหนาซึ่งสามารถเป็น angstroms ได้หลายแบบหรือถึงหลายไมครอนตามกฎแล้วพื้นผิวไม่ต้องการการประมวลผลเพิ่มเติม
ชะตากรรมของเกรนแต่ละเม็ดของส่วนประกอบที่ฉีดพ่นเมื่อกระทบกับพื้นผิว ส่วนประกอบ ขึ้นอยู่กับพลังงาน อุณหภูมิระนาบ และสารเคมี ความเกี่ยวข้องขององค์ประกอบและองค์ประกอบภาพยนตร์ อะตอมหรือโมเลกุลที่ไปถึงระนาบมีโอกาสที่จะสะท้อนออกมาจากระนาบหรือถูกดูดซับและปล่อยทิ้งไว้ (การดูดซับ) หรือถูกดูดซับและสร้างคอนเดนเสทในระนาบหลังจากช่วงเวลาหนึ่ง ( เคลือบหลุมร่องฟัน) ที่พลังงานเมล็ดพืชสูง อุณหภูมิสูงเครื่องบินและเคมีที่ไม่มีนัยสำคัญ ความสัมพันธ์องค์ประกอบจะสะท้อนให้เห็นโดยพื้นผิว อุณหภูมิของระนาบของชิ้นส่วนซึ่งสูงกว่าอนุภาคทั้งหมดซึ่งสะท้อนออกมาจากมันและไม่ได้สร้างชั้น เรียกว่าอุณหภูมิการสะสมของสุญญากาศที่รุนแรง ความสำคัญของมันขึ้นอยู่กับธรรมชาติขององค์ประกอบของฟิล์มและระนาบของส่วนประกอบ และสถานะของเครื่องบิน ที่การไหลขององค์ประกอบที่ระเหยได้ต่ำมาก รวมถึงกรณีที่อนุภาคเหล่านี้ถูกดูดซับในระนาบ แต่ไม่ค่อยเกิดขึ้นกับอนุภาคอื่นที่คล้ายคลึงกัน พวกมันจะถูกดูดซับและไม่สามารถสร้างนิวเคลียสได้ กล่าวคือ ชั้นไม่เติบโตเลย ความถี่ร้ายแรงของการไหลของส่วนประกอบระเหยสำหรับอุณหภูมิที่กำหนดของระนาบคือความหนาแน่นต่ำสุดที่อนุภาคควบแน่นและก่อตัวเป็นฝาครอบ
ตามวิธีนี้ ฟิล์มบางที่มีความหนา 0.02-0.11 ไมครอน ได้มาจากการให้ความร้อน การระเหย และการสะสมของส่วนประกอบบนสารตั้งต้นในห้องที่แยกจากกันภายใต้แรงดันแก๊สอัดในนั้น ในห้องด้วยความช่วยเหลือของปั๊มสุญญากาศ ผลกระทบที่ใหญ่ที่สุดของก๊าซตกค้างจะถูกสร้างขึ้น ประมาณ 1.2x10-3 Pa
ห้องทำงานประกอบด้วยฝากระโปรงโลหะหรือกระจกที่มีแนวคิดระบายความร้อนด้วยน้ำภายนอก ห้องตั้งอยู่ในแผ่นตรงกลางและสร้างการเชื่อมต่อที่ป้องกันด้วยสุญญากาศ วัสดุพิมพ์ที่ทำการสะสมจะถูกจับจ้องไปที่ตัวยึด เครื่องทำความร้อนอยู่ติดกับพื้นผิว ซึ่งให้ความร้อนแก่พื้นผิวได้ถึง 2400-4400 °C เพื่อปรับปรุงการยึดเกาะของฟิล์มที่สะสม ตัวเก็บประจุประกอบด้วยฮีตเตอร์และแหล่งที่มาของส่วนประกอบที่ฉีดพ่น แดมเปอร์ทรานซิชันจะปิดการไหลของไอจากเครื่องระเหยไปยังสารตั้งต้น การชดเชยจะคงอยู่ตามระยะเวลาที่ชัตเตอร์ไม่กระแทก
เพื่อให้ความร้อนแก่ส่วนประกอบที่ฉีดพ่น ส่วนใหญ่จะใช้เครื่องระเหย 2 ประเภท:
สารระเหยจากการระเบิดใช้เพื่อสะสมฟิล์มจากองค์ประกอบที่มีหลายองค์ประกอบ ในกรณีนี้คอนเดนเซอร์จะได้รับความร้อนสูงถึง 15,000 ° C และโรยด้วยผงจากส่วนผสมขององค์ประกอบที่ระเหยได้ ด้วยวิธีการที่คล้ายกัน เป็นไปได้ที่จะได้รับสารเคลือบคอมโพสิต
ส่วนประกอบการชุบยอดนิยมบางชนิด (เช่น ทอง) มีการยึดเกาะต่ำกับซิลิกอนและองค์ประกอบเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ ในกรณีของการยึดเกาะคุณภาพต่ำขององค์ประกอบระเหยกับพื้นผิว การระเหยจะถูกวางใน 2 ชั้น ขั้นแรก ใช้ชั้นของโลหะผสมทับพื้นผิวซึ่งมีการยึดเกาะที่ดีเยี่ยมกับซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์ จากนั้นชั้นหลักจะถูกฉีดพ่นซึ่งก่อนหน้านี้การเกาะติดของชั้นย่อยนั้นยอดเยี่ยม
วิธีนี้ประกอบด้วยการสปัตเตอร์องค์ประกอบขององค์ประกอบเชิงสาเหตุที่อยู่ด้านหน้าของศักย์ลบเนื่องจากการทิ้งระเบิดโดยไอออนของก๊าซที่ไม่ใช้งานซึ่งเกิดขึ้นระหว่างการกระตุ้นของการปล่อยเรืองแสงภายในการติดตั้งการสะสมของสุญญากาศ
วัสดุของอิเล็กโทรดที่มีประจุลบถูกพ่นภายใต้อิทธิพลของอะตอมที่แตกตัวเป็นไอออนของก๊าซที่ไม่ใช้งานซึ่งกระทบกับมัน อะตอมทรานซิชันที่ถูกสปัตเตอร์เหล่านี้ถูกสะสมอยู่ด้านบนของสารตั้งต้น ข้อได้เปรียบหลักของวิธีการสะสมไอออน-สูญญากาศคือไม่จำเป็นต้องให้ความร้อนแก่เครื่องระเหยจนถึงอุณหภูมิสูง
กลไกการเกิดของไหลล้น การคายประจุที่ผุกร่อนจะถูกตรวจสอบในห้องที่มีแรงดันแก๊สต่ำระหว่างอิเล็กโทรดโลหะ 2 อิเล็กโทรด ซึ่งใช้แรงดันสูงถึง 1-3 กิโลวัตต์ ในกรณีนี้ อิเล็กโทรดลบมักจะต่อสายดิน แคโทดเป็นเป้าหมายที่มีองค์ประกอบสปัตเตอร์ เบื้องต้นจะมีการอพยพพื้นที่อากาศออกจากห้องเพาะเลี้ยง จากนั้นก๊าซจะเริ่มขึ้นที่ความดัน 0.6 Pa
การปลดปล่อยแสงได้ชื่อมาจากการมีอยู่ของสิ่งที่เรียกว่าเรืองแสงในเป้าหมาย (แคโทด) ความเปล่งปลั่งนี้เกิดจากการที่ความจุลดลงอย่างมากในอ่างเก็บน้ำที่มีประจุไฟฟ้าในอวกาศใกล้กับแคโทด ติดกับโซน TC คือพื้นที่ของจุดมืดฟาราเดย์ซึ่งผ่านเข้าไปในคอลัมน์บวกซึ่งเป็นส่วนอิสระของการปลดปล่อยซึ่งไม่เหมาะสมอย่างยิ่งจากชั้นอื่น ๆ ของการปลดปล่อย
ใกล้กับขั้วบวกนอกจากนี้ยังมีชั้นเล็ก ๆ ของประจุไฟฟ้าที่เรียกว่าชั้นขั้วบวก องค์ประกอบอื่นของช่องว่างระหว่างอิเล็กโทรดถูกจับโดยพลาสมากึ่งเป็นกลาง ในทำนองเดียวกัน กล้องจะติดตามแสงแรสเตอร์จากแถบสีเข้มและแถบแสงสลับกัน
สำหรับกระแสผ่านระหว่างอิเล็กโทรด จำเป็นต้องมีการปล่อยอิเลคตรอนแคโทดที่เสถียร การปล่อยก๊าซนี้สามารถเหนี่ยวนำให้เกิดภายใต้การบังคับโดยการให้ความร้อนแก่แคโทดหรือโดยการฉายรังสีด้วยแสงอัลตราไวโอเลต การปลดปล่อยชนิดนี้ไม่ยั่งยืน
ในบางกรณี โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อฉีดพ่นพลาสติก ใช้การชุบอะลูมิเนียม และโลหะนี้เป็นวัตถุดิบที่ค่อนข้างเบาและไม่ทนต่อการสึกหรอ แต่อย่างใด ในกรณีนี้จำเป็นต้องมีวิธีการทางวิทยาศาสตร์และเทคนิคพิเศษบางอย่าง ผู้ใช้ต้องเข้าใจว่าส่วนประกอบที่คล้ายคลึงกันจะได้รับการปกป้องจากการปนเปื้อนในทันทีหลังจากการปั๊มขึ้นรูปได้ดีที่สุด นอกจากนี้ ไม่ควรใช้ผงหล่อลื่นและผงหล่อลื่นต่างๆ ในแม่พิมพ์
โลหะที่สามารถระเหยได้เฉพาะที่อุณหภูมิต่ำกว่าโซนหลอมเหลวเท่านั้นที่ได้รับอนุญาตให้ถูกทำให้ร้อนด้วยกระแสตรง การจัดเรียงเงินและทองจะระเหยในอ่างรับส่งที่มีแทนทาลัมหรือทังสเตน จำเป็นต้องทำการชดเชยในห้องเพาะเลี้ยงที่ความดันน้อยกว่า 10-3 มม. ปรอท ศิลปะ.
สำหรับการเกิดขึ้นของการปล่อยเรืองแสงอิสระ จำเป็นต้องทำให้เกิดการปล่อยอิเล็กตรอนจากแคโทดโดยใช้ไฟฟ้าแรงสูง 2-4 กิโลวัตต์ระหว่างอิเล็กโทรด หากแรงดันไฟฟ้าที่ใช้เกินความจุไอออไนเซชันของก๊าซในห้อง (โดยปกติคือ Ar) ในกรณีนี้ เนื่องจากการชนกันของอิเล็กตรอนกับโมเลกุล Ar แก๊สจะถูกทำให้แตกตัวเป็นไอออนเพื่อสร้างไอออน Ar+ ที่มีประจุบวก เป็นผลให้มีการปล่อยภาพเล็ก ๆ และด้วยเหตุนี้สนามไฟฟ้าที่แข็งแกร่งจึงปรากฏขึ้นในพื้นที่ของพื้นที่สีดำแคโทด
ไอออน Ar+ ซึ่งได้รับพลังงานในโซนที่จัดให้ เคาะอะตอมขององค์ประกอบแคโทดพร้อมกัน กระตุ้นการปล่อยอิเล็กตรอนด้านข้างจากแคโทด การปล่อยก๊าซเรือนกระจกนี้จะคงไว้ซึ่งการปลดปล่อยแสงที่เป็นอิสระ อะตอมของการเปลี่ยนผ่านจากองค์ประกอบแคโทดไปถึงสารตั้งต้นและถูกสะสมไว้บนระนาบของมัน
การออกแบบติดอาวุธด้วยความซับซ้อนที่สำคัญ เครื่องใช้ที่ทันสมัยและอุปกรณ์ที่รับประกันการสะสมของการเคลือบโลหะของการสังเคราะห์และโลหะผสมของพวกเขาด้วยคุณสมบัติที่กำหนดไว้ การยึดเกาะที่ดีเยี่ยมและความสม่ำเสมอสูงตามส่วนของพื้นที่
ความซับซ้อนของอุปกรณ์และอุปกรณ์ที่รวมอยู่ในโครงสร้างของอุปกรณ์:
ระบบสูญญากาศเป็นองค์ประกอบที่สัมพันธ์กันที่ซับซ้อนซึ่งรับประกันการสร้างและบำรุงรักษาสุญญากาศที่กำหนดในปริมาณที่แน่นอน ระบบสูญญากาศทั้งหมดถูกแบ่งตามระดับของการเกิดหายากเป็นระบบสูญญากาศต่ำ สูง และสูงพิเศษ
การนำทาง:
นอกจากนี้ ระบบสูญญากาศ
ส่วนประกอบหลักของระบบสุญญากาศ:
ปั๊มสุญญากาศหรือการติดตั้งให้สูบน้ำออกจากตัวกลางที่เป็นก๊าซ
ท่อเชื่อมต่อส่วนประกอบของระบบสูญญากาศ
ภาชนะ ภาชนะ หรือปริมาตรปิดอื่น ๆ ที่สร้างสุญญากาศ
วาล์วปิดและอุปกรณ์ความปลอดภัยต่างๆ
ระบบเซ็นเซอร์ที่ส่งข้อมูลสถานะของระบบ
ตัวควบคุมที่จัดการทั้งระบบตามข้อมูลที่ได้รับจากเซ็นเซอร์
บางรายการด้านบนอาจหายไป ทั้งหมดขึ้นอยู่กับข้อกำหนดเฉพาะสำหรับระบบ นอกจากนี้ องค์ประกอบบางส่วนหรือทั้งหมดอาจถูกทำซ้ำ ทำให้มั่นใจได้ว่ามีการบำรุงรักษาสุญญากาศที่กำหนดอย่างต่อเนื่อง ระบบสุญญากาศอัตโนมัติเต็มรูปแบบสามารถเชื่อมต่อโมดูลเพิ่มเติมกับงาน ควบคุมวาล์ว และรักษาระดับสุญญากาศที่ต้องการอย่างต่อเนื่องในปริมาณที่กำหนดอย่างอิสระ
ภาพวาดของระบบสูญญากาศในแต่ละกรณีได้รับการพัฒนาโดยคำนึงถึงความต้องการของลูกค้าและต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของ NTD พวกเขาเป็นส่วนสำคัญของโครงการใด ๆ โดยคำนึงถึงตัวแปรทั้งหมดและพัฒนาโดยผู้เชี่ยวชาญที่ผ่านการฝึกอบรม
ตัวอย่างคือระบบสูญญากาศทางการแพทย์ การปิดระบบซึ่งอาจถึงแก่ชีวิตในระหว่างการผ่าตัด เซ็นเซอร์แต่ละตัวของระบบสุญญากาศประเภทนี้จำเป็นต้องทำซ้ำ มักใช้ระบบสำรองเต็มรูปแบบและแหล่งจ่ายไฟอัตโนมัติ ระบบสูญญากาศอัตโนมัติรักษาสูญญากาศที่จำเป็นโดยการเปิดและปิดปั๊มที่สูบลมออกตามการอ่านค่าของเซ็นเซอร์
ระบบสูญญากาศส่วนใหญ่จะใช้สำหรับ:
สร้างเงื่อนไข ปฏิกริยาเคมีในสารเคมี อุตสาหกรรมน้ำมันและห้องปฏิบัติการวิจัย
การผลิตเลนส์ในเลนส์
บรรจุภัณฑ์สูญญากาศในอุตสาหกรรมอาหาร
การกำจัดแก๊สหลอมในเตาหลอมโลหะ
การแปรรูปแผงวงจรไฟฟ้าในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
ตรวจสอบการทำงานของอุปกรณ์ดูดเลือดและการผลิตยาบางชนิดในยา
การสะสมของโครงสร้างที่แตกต่างกันและวัสดุที่เข้ากันไม่ได้ในอุตสาหกรรมยานยนต์
การสร้างสุญญากาศในเครื่องรีดนมของผู้ประกอบการทางการเกษตร
วาล์วสำหรับระบบสุญญากาศแบ่งออกเป็นวาล์วปิด เซฟตี้ และวาล์วควบคุม วาล์วควบคุมบางประเภทสามารถเปลี่ยนวาล์วปิดได้หากจำเป็น ถึง วาล์วปิดใช้กับสุญญากาศส่วนใหญ่และ เช็ควาล์ว, มี 2 ตำแหน่งและให้เฉพาะการตัด (ทาง) ของสื่อการทำงาน, การควบคุมและอุปกรณ์ความปลอดภัย
รูปแบบการทำงาน โรงงานสูญญากาศใช้ในการสอนนักเรียน:
โรงงานสุญญากาศที่ใช้สำหรับการฉีดพ่นเป็นแบบชุด กึ่งต่อเนื่อง และต่อเนื่อง สำหรับการประมวลผลชิ้นส่วนจำนวนมากและต่อเนื่องจะใช้หน่วยสุญญากาศแบบต่อเนื่อง การติดตั้งแบบกลุ่มและแบบกึ่งต่อเนื่องอาจมีห้องทำงานที่โหลดหลายห้องหรือหนึ่งห้องบรรจุหลายตำแหน่ง กระบวนการฉีดพ่นสามารถแบ่งออกเป็นหลายขั้นตอน:
การสะสมสูญญากาศถูกนำมาใช้ในการผลิตต่างๆ กระดานอิเล็กทรอนิกส์, การติดฟิล์มกระจกรถยนต์และเคลือบพลาสติกบางชนิด โดยปกติ การติดตั้งระบบพ่นสุญญากาศจะมีองค์ประกอบต่อไปนี้ในการออกแบบ:
เนื่องจากการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิพื้นผิวของชิ้นงาน อนุภาคที่ใช้จะถูกปฏิเสธ ดังนั้น การระบายความร้อนอย่างเหมาะสมจึงมีความสำคัญมาก ชื่อการติดตั้งทั้งหมดขึ้นอยู่กับอุปกรณ์ที่ใช้สร้างสุญญากาศ ตัวอย่างเช่น การติดตั้งสุญญากาศแบบวงแหวนน้ำหมายถึงการใช้ ปั๊มวงแหวนเหลวเมื่อสูบแก๊สออกจากห้องทำงาน
มีโรงงานสุญญากาศหลายแห่งที่แตกต่างกันในหลักการของการฉีดพ่น ประเภทของปั๊มสุญญากาศที่ใช้ ระดับของระบบอัตโนมัติ ปริมาตร และองค์ประกอบอื่นๆ หน่วยสุญญากาศ UV-24S, UV-947, Bulat-3T, UVN-15, Magna 2M, Oratoriya-9 และอื่น ๆ อีกมากมายที่อิงจากหน่วยเหล่านี้สามารถอ้างถึงเป็นตัวอย่าง
แบบแผนของการติดตั้งสูญญากาศสำหรับแมกนีตรอนสปัตเตอร์ของโลหะ:
ข้อผิดพลาดที่พบบ่อยที่สุดในการออกแบบระบบสูญญากาศคือความซับซ้อนของโครงการและการมีอยู่ขององค์ประกอบที่ไม่จำเป็นมากมาย อาจเป็นเหมือนวาล์วเสริมที่นำไปสู่ตำแหน่งเพิ่มเติมสำหรับการปิดผนึก เซ็นเซอร์อยู่ในตำแหน่งที่ไม่สะดวกและถูกทำลายอย่างต่อเนื่อง หน้าแปลนที่ติดตั้งซึ่งสามารถจ่ายโครงสร้างชิ้นเดียวได้
ผู้ผลิตอุปกรณ์สูญญากาศโดยส่วนใหญ่แล้วจะผลิตอุปกรณ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้าในด้านประสิทธิภาพ การดูดสูญญากาศสูงสุด และความเร็วในการสูบน้ำ สำหรับระบบที่มีประสิทธิภาพสูง การติดตั้งองค์ประกอบพิเศษอาจทำให้แรงดันตกและไม่รับประกันการทำงาน อุปกรณ์ความปลอดภัย. ดังนั้นจึงควรคำนึงว่าระบบสุญญากาศที่ออกแบบมาอย่างไม่เป็นมืออาชีพไม่เพียงแต่ไม่น่าพอใจสำหรับสภาพการทำงานเท่านั้น แต่ยังเป็นอันตรายต่อเจ้าหน้าที่ปฏิบัติการด้วย
อุปกรณ์ทั้งหมดที่ใช้ในการติดตั้งระบบสุญญากาศต้องเป็นไปตามสภาวะการทำงานอย่างสมบูรณ์และผลิตโดยใช้เทคโนโลยีที่เหมาะสม การผลิตอุปกรณ์สูญญากาศควรเป็นจุดสนใจหลักขององค์กรที่จัดหาองค์ประกอบทั้งหมดของระบบ
เซ็นเซอร์สูญญากาศสูง:
เทคโนโลยีสูญญากาศและคอมเพรสเซอร์มีคุณสมบัติที่คล้ายคลึงกันหลายประการ บ่อยครั้งที่ผู้ผลิตอุปกรณ์คอมเพรสเซอร์ผลิตระบบสูญญากาศและองค์ประกอบต่างๆ การผลิตอุปกรณ์สูญญากาศขึ้นอยู่กับวิธีการเพิ่มเติมของอุปกรณ์การประมวลผล เพื่อให้ได้การปิดผนึกสูงสุดของระบบ
เทคโนโลยีสำหรับการสร้างและบำรุงรักษาสุญญากาศได้รับการปรับปรุงตลอดเวลา บน ช่วงเวลานี้วิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีสุญญากาศทำให้สามารถสร้างแรร์แฟคชันที่สอดคล้องกับสุญญากาศระดับลึกของอวกาศได้
ปั๊มสุญญากาศแนวตั้งและแนวนอน:
ปั๊มสุญญากาศใช้งานอยู่หลายประเภท แต่ละคนมีข้อดีและข้อเสียซึ่งมีขอบเขตการใช้งาน
ปั๊มวงแหวนน้ำได้ชื่อมาจากข้อเท็จจริงที่ว่าสูญญากาศใน ระบบสูญญากาศสร้างขึ้นโดยใช้วงแหวนน้ำถาวรในระนาบการทำงาน เพลาปั๊มถูกชดเชย เพื่อให้ด้านหนึ่งของปั๊มใบพัดเคลื่อนเข้าใกล้ตัวเรือน (โดยไม่ต้องสัมผัสมัน) และด้านตรงข้ามมีระยะห่างจากผนังอย่างมีนัยสำคัญ
เมื่อหมุนใบพัดจะจับของเหลว (น้ำ) บิดเป็นวงแหวน แรงเสียดทานที่กระทำในกรณีนี้ทำให้ของเหลวร้อนขึ้น ดังนั้นน้ำในวงแหวนจึงถูกแทนที่ด้วยน้ำจืดตลอดเวลา เนื่องจากก๊าซถูกดูดออกโดยใช้วงแหวนน้ำ สารปนเปื้อนที่มีฤทธิ์กัดกร่อนของตัวกลางที่ถูกสูบส่วนใหญ่จึงถูกกรองออกและก๊าซบริสุทธิ์จะออกมา
ปั๊มดังกล่าวบำรุงรักษาง่ายมาก ทำให้ปั๊มก๊าซได้รวดเร็ว ไม่ต้องการองค์ประกอบมากนัก แต่ไม่สามารถสร้างสุญญากาศระดับลึกได้ ซึ่งจะจำกัดการใช้ในอุตสาหกรรม
แผนผังการทำงานของปั้มน้ำแบบวงแหวน:
โดยที่จุด H แสดงตำแหน่งของการบีบอัดสูงสุดของก๊าซที่สูบ (การเชื่อมต่อของท่อทางออก) B คือทางเข้าของปั๊ม K คือวงแหวนน้ำ
ปั๊มใบพัดโรตารี่ปั๊มก๊าซออกเนื่องจากเพลาตั้งอยู่นอกรีตเมื่อเทียบกับตัวเรือน บนเพลามี หลุมพิเศษที่ติดตั้งสปริง ภายใต้การกระทำของสปริง ใบมีดจะถูกกดเข้ากับร่างกายอย่างต่อเนื่อง ทำให้เกิดห้องที่ปิดสนิทด้วยความเคารพซึ่งกันและกัน เมื่อโรเตอร์หมุน แต่ละห้องเพาะเลี้ยงจะเปลี่ยนปริมาตรจากค่าต่ำสุด (ในกรณีนี้ การบีบอัดสูงสุดของก๊าซที่เกิดขึ้น) เป็นค่าสูงสุด เพื่อลดแรงเสียดทานของเพลตกับร่างกายจึงใช้น้ำมันพิเศษ
ขอบเขตการใช้งานมีจำกัด เนื่องจากจำเป็นต้องใช้อุปกรณ์กรองเพื่อรับประกันว่าไม่มีอนุภาคกัดกร่อนในก๊าซที่สูบแล้วและมีไอน้ำมันอยู่ในก๊าซที่ส่งออก
แผนการทำงานของปั๊มใบพัดหมุน:
ปั๊ม foreline สามารถ หลากหลายชนิดเช่น ใบพัดหมุน วงแหวนน้ำ แกนม้วนเก็บ งานหลักของปั๊มดังกล่าวคือการสร้างสุญญากาศด้านหน้า (สุญญากาศเบื้องต้น) โดยเร็วที่สุดเพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานของปั๊มที่ให้สุญญากาศสูง เนื่องจากปั๊มบางรุ่นมีความเร็วปั๊มต่ำที่ความดันบรรยากาศปกติ และต้องใช้สุญญากาศสูงสุดเพื่อสร้างสุญญากาศระดับลึก
ปั๊มแบบกระจายโมเลกุลเทอร์โบ ไอน้ำ-น้ำมัน และปั๊มประเภทอื่นๆ ใช้เป็นขั้นตอนที่สองในปั๊มสุญญากาศส่วนหน้า
ปั๊มรากจะสูบส่วนผสมของก๊าซออกเนื่องจากมีโรเตอร์หมุนพร้อมกันสองตัว โรเตอร์ตัวหนึ่งได้รับการเคลื่อนที่แบบหมุนจากเครื่องยนต์ และอีกตัวขับเคลื่อนด้วยชุดเกียร์ ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าการหมุนจะซิงโครไนซ์ การออกแบบช่วยให้คุณสร้างสุญญากาศได้สูง แต่ต้องทำความสะอาดขาเข้า ห้องทำงานแก๊ส.
แผนการทำงานของปั๊มรูต 2 แคม (pos. "a") และ 3-cam (pos. "b")
 การสะสมของสุญญากาศขึ้นอยู่กับการสร้างการไหลของอนุภาค (อะตอม โมเลกุล กลุ่ม) ของวัสดุที่นำไปใช้โดยตรงบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์และการควบแน่นของอนุภาค
กระบวนการประกอบด้วยหลายขั้นตอน: การเปลี่ยนผ่านของสารหรือวัสดุที่ฉีดพ่นจากเฟสควบแน่นเป็นเฟสแก๊ส การถ่ายโอนโมเลกุลของเฟสแก๊สไปยังพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ การควบแน่นบนพื้นผิว การก่อตัวและการเติบโตของนิวเคลียส และ การก่อตัวของภาพยนตร์
  เคลือบสูญญากาศ- การถ่ายโอนอนุภาคของสารที่ฉีดพ่นจากแหล่งกำเนิด (ตำแหน่งที่ถ่ายโอนไปยังเฟสก๊าซ) ไปยังพื้นผิวของชิ้นส่วนจะดำเนินการตามวิถีเส้นตรงที่สุญญากาศ 10 -2 Pa และต่ำกว่า (การระเหยของสุญญากาศ) และ โดยการแพร่กระจายและการพาความร้อนในพลาสมาที่ความดัน 1 Pa (แคโทดสปัตเตอร์) และ 10 -1 -10 -2 Pa (แมกนีตรอนและไอออนพลาสม่าสปัตเตอร์) ชะตากรรมของอนุภาคแต่ละตัวของสารที่ฉีดพ่นเมื่อกระทบกับพื้นผิวของชิ้นส่วนนั้นขึ้นอยู่กับพลังงาน อุณหภูมิพื้นผิว และความสัมพันธ์ทางเคมีของวัสดุของฟิล์มและชิ้นส่วน อะตอมหรือโมเลกุลที่ไปถึงพื้นผิวสามารถสะท้อนออกมาจากมัน หรือดูดซับและปล่อยทิ้งไว้หลังจากผ่านไประยะหนึ่ง (การคายน้ำ) หรือดูดซับและก่อตัวเป็นคอนเดนเสทบนพื้นผิว (การควบแน่น) ที่พลังงานอนุภาคสูง อุณหภูมิพื้นผิวสูง และความสัมพันธ์ทางเคมีต่ำ อนุภาคจะสะท้อนจากพื้นผิว
เรียกว่าอุณหภูมิวิกฤตของการสะสมสุญญากาศ ค่าของมันขึ้นอยู่กับธรรมชาติของวัสดุฟิล์มและพื้นผิวของชิ้นส่วนและสถานะของพื้นผิว ที่อนุภาคระเหยที่มีฟลักซ์ต่ำมาก แม้ว่าอนุภาคเหล่านี้จะถูกดูดซับบนพื้นผิว แต่ไม่ค่อยเกิดขึ้นกับอนุภาคอื่นที่คล้ายคลึงกัน พวกมันจะถูกดูดซับและไม่สามารถสร้างนิวเคลียสได้ ฟิล์มไม่เติบโต ความหนาแน่นวิกฤตฟลักซ์ของอนุภาคระเหยสำหรับอุณหภูมิพื้นผิวที่กำหนดคือความหนาแน่นต่ำสุดที่อนุภาคควบแน่นและก่อตัวเป็นฟิล์ม
 โครงสร้างของฟิล์มที่สะสมขึ้นอยู่กับคุณสมบัติของวัสดุ สถานะและอุณหภูมิของพื้นผิว และอัตราการสะสม ฟิล์มสามารถเป็นแบบอสัณฐาน (คล้ายแก้ว เช่น ออกไซด์ Si) คริสตัลไลน์ (โลหะ โลหะผสม Si) หรือผลึกเดี่ยว (เช่น ฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ที่ได้จาก epitaxy ของลำแสงโมเลกุล) เพื่อปรับปรุงโครงสร้างและลดภายใน ความเค้นทางกลฟิล์ม เพิ่มความเสถียรของคุณสมบัติและปรับปรุงการยึดเกาะกับพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ทันทีหลังจากการเคลือบโดยไม่ละเมิดสุญญากาศ ฟิล์มจะถูกอบที่อุณหภูมิสูงกว่าอุณหภูมิพื้นผิวเล็กน้อยในระหว่างการสะสม โครงสร้างฟิล์มหลายชั้นถูกสร้างขึ้นจากวัสดุต่างๆ ด้วยวิธีการสะสมแบบสุญญากาศ
  ฉีดพ่นสุญญากาศใช้ในเทคโนโลยีระนาบของไมโครเซอร์กิตเซมิคอนดักเตอร์ในการผลิตวงจรไฮบริดแบบฟิล์มบางผลิตภัณฑ์ของเพียโซเทคนิคอคูสโตอิเล็กทรอนิกส์ ฯลฯ (การสะสมของสื่อกระแสไฟฟ้า, อิเล็กทริก, ชั้นป้องกัน, หน้ากาก ฯลฯ ) ในเลนส์ (ใช้สารป้องกันแสงสะท้อน สารสะท้อนแสง และสารเคลือบอื่นๆ) ในขอบเขตที่จำกัด - เมื่อเคลือบพื้นผิวของพลาสติกและ ผลิตภัณฑ์แก้ว, น้ำยาเคลือบกระจกรถยนต์. โลหะ (Al, Au, Cu, Cr, Ni, V, Ti, เป็นต้น), โลหะผสม (เช่น NiCr, CrNiSi), สารประกอบทางเคมี (ซิลิไซด์, ออกไซด์, บอไรด์, คาร์ไบด์ ฯลฯ) ถูกนำไปใช้โดยการสะสมแบบสุญญากาศ
 
ข้าว. ป2.1.
 สำหรับการทับถมแบบสุญญากาศ อุปกรณ์เทคโนโลยีการกระทำเป็นระยะกึ่งต่อเนื่องและต่อเนื่อง การติดตั้งการดำเนินการตามระยะเวลาจะดำเนินการเคลือบฟิล์มหนึ่งรอบด้วยจำนวนผลิตภัณฑ์ที่โหลดที่กำหนด การติดตั้งอย่างต่อเนื่องใช้สำหรับซีเรียลและ การผลิตจำนวนมาก. มีสองประเภท: หลายห้องและหลายตำแหน่งเดียว แบบแรกประกอบด้วยโมดูลการทับถมที่จัดเรียงตามลำดับ โดยแต่ละส่วนจะทำการทับถมของฟิล์มของวัสดุบางชนิด หรือการอบชุบและควบคุมความร้อน โมดูลเชื่อมต่อกันด้วยห้องล็อคและอุปกรณ์สายพานลำเลียง การติดตั้งห้องเดี่ยวแบบหลายตำแหน่งประกอบด้วยเสาสปัตเตอร์หลายเสา (อยู่ในห้องสุญญากาศหนึ่งห้อง) ที่เชื่อมต่อด้วยอุปกรณ์ลำเลียงแบบสายพานลำเลียงหรือแบบหมุน ส่วนประกอบหลักและระบบการติดตั้งสำหรับการสะสมสุญญากาศคือ อุปกรณ์อิสระ, ดำเนินการฟังก์ชั่นที่ระบุ:
  การสร้างสุญญากาศ;
  การระเหยหรือฉีดพ่นวัสดุฟิล์ม
  การขนส่งและการเคลือบสี;
  การควบคุมโหมดการสะสมสูญญากาศและคุณสมบัติของฟิล์ม
  แหล่งจ่ายไฟ
  โรงงานเคลือบสูญญากาศ
 DV-502B ซีรีส์เครื่องพ่นยาแบบต้านทานสุญญากาศ (รูปที่ A2.2.) ( การติดตั้งนี้เป็นเดสก์ท็อป)
ข้าว. P2.2.
 การติดตั้ง VATT1600-4DK (รูปที่ A2.4.) ได้รับการออกแบบสำหรับการเคลือบแบบผสมผสาน ซึ่งอาจประกอบด้วยชั้นโลหะ ชั้นของสารประกอบโลหะนี้ (ออกไซด์ ไนไตรด์ คาร์ไบด์) และชั้นของ SiOx
ข้าว. P2.3.
 กำลังสมัคร การเชื่อมต่อต่างๆสามารถรับไทเทเนียมได้ เฉดสีต่างๆทอง น้ำเงิน เขียว ดำ และสีอื่นๆ (รูปที่ A2.4.) สามารถใช้เคลือบกับแผ่นได้ ของสแตนเลสกับการรักษาพื้นผิวใดๆ: กระจก, ขัด, พื้นผิวตกแต่งหรือด้านเรียบ ขนาดของชุดสูญญากาศช่วยให้พ่นแผ่นขนาด 1500x3000 มม. แผ่นหลังจากฉีดพ่นสามารถหุ้มด้วยฟิล์มป้องกันแบบมีกาวในตัว ค่าใช้จ่ายในการฉีดพ่น - จาก 700 รูเบิล / ตร.ม.
 
ข้าว. ป2.4.การใช้การสะสมแบบสุญญากาศ
สแตนเลส:
 พื้นผิวเหล็กกล้าไร้สนิมใช้สำหรับการสะสมแบบสุญญากาศด้วยไททาเนียมไนไตรด์
  ความสง่างามและความสง่างามในการตกแต่ง;
  ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อสภาพอากาศ
  ตรงกับที่เข้มงวดที่สุด ข้อกำหนดด้านสุขอนามัย;
ดูแลรักษาง่ายและทนทาน;
  ทนความร้อนและความปลอดภัยจากอัคคีภัย;
  การผสมผสานที่ยอดเยี่ยมกับผู้อื่น วัสดุตกแต่ง(แก้ว พลาสติก ไม้ หิน).
ข้อมูลจำเพาะ:
  วัสดุพื้นผิว - สแตนเลส, 08X18H10 (AISI 304);
  ความหนาของพื้นผิว 0.5 มม. - 1.5 มม.
  การเคลือบไททาเนียมไนไตรด์ ความหนา 0.2-6 ไมครอน;
  สีเคลือบ - สีทองหลากหลายเฉด;
  การกระเจิงของแสง - จากกระจกเป็นด้าน;
  · คุณสมบัติทางกล - อนุญาตให้ดัดซ้ำและปั๊มเย็น;
 · ทนต่อสภาพอากาศ - ไม่น้อยกว่า 50 ปี.
วิธีการรับวัสดุ
 การเคลือบบนเหล็กกล้าไร้สนิม TIN, TiO2 และ TiON ที่ได้จากการพ่นไอออนพลาสม่าในห้องสุญญากาศ
 แผ่นเหล็กสแตนเลสหลัง ก่อนการรักษาซึ่งให้การสะท้อนแสงสูงของสารเคลือบ ถูกวางไว้ในห้องสุญญากาศที่ปิดสนิท ในระหว่างกระบวนการฉีดพ่น จะมีการสร้างสุญญากาศลึกในห้องเพาะเลี้ยง ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงสีที่ต้องการและความทนทานของสารเคลือบ
 ในระหว่างการพ่นไอออนพลาสม่า ไอออนในพลาสมาพลังงานสูงจะกระแทกอะตอมของไททาเนียมออกจากพื้นผิวของแผ่นไททาเนียม ซึ่งในทางกลับกัน เมื่อผ่านเมฆไนโตรเจนหรือออกซิเจนที่หายากมาก ออกซิไดซ์และเจาะเข้าไปในวัสดุตั้งต้น
 กระบวนการนี้ให้การยึดเกาะที่ดีและ คุณสมบัติการตกแต่งสารเคลือบ
 เทคโนโลยีการสะสมด้วยสุญญากาศใช้พลังงานอย่างมากและกำลังกลายเป็นผลิตภัณฑ์เฉพาะในหลายประเทศ หลายบริษัทกำลังเปลี่ยนการทับถมแบบสุญญากาศด้วยการสะสมของพลาสมาในชั้นบรรยากาศที่มีประสิทธิผลมากขึ้นและราคาไม่แพง
  คุณภาพและคุณสมบัติของวัสดุ:
 ทนต่อสภาพอากาศและการกัดกร่อนสูง เคลือบตกแต่งยืนยันโดยใบรับรองความสอดคล้อง GOST No.СХ02.1.3,0040 ลงวันที่ 18.09.96 และเป็นเวลา 50 ปีในบรรยากาศเมือง
 สีอะไรก็ได้ แต่ กระบวนการทางเทคโนโลยีดีบั๊กสำหรับสามสีหลัก: เลียนแบบสีทอง - การเคลือบ TiN, สีน้ำเงิน - การเคลือบ TiO2 เลียนแบบสีของทองแดงสด - การเคลือบ TiON;
 ความสามารถในการสะท้อนแสงของสิ่งปกคลุม - 60-70%;
พื้นที่ใช้งาน:
  การมุงหลังคาโดมโบสถ์และหลังคาอาคาร
  โฆษณากลางแจ้ง (จานตัวอักษรสามมิติและแบนทำจากสแตนเลส);
  การออกแบบตกแต่งอาคารและภายใน;
  การฟื้นฟูอนุสรณ์สถานทางวัฒนธรรม;
 ·การผลิตชิ้นส่วนของของที่ระลึกและอุปกรณ์
 การสะสมแบบสูญญากาศใช้สำหรับผลิตภัณฑ์ที่ทำจากโลหะทั้งเหล็กและโลหะอื่นๆ การสะสมแบบต่างๆ รวมถึงทอง เงิน (รูปที่ P2.5.)
 
ข้าว. ป2.5การใช้การสะสมแบบสุญญากาศ
  วัสดุเคลือบ:
  ดีบุก- ไททาเนียมไนไตรด์ (ทองสัมฤทธิ์เพิ่มความต้านทานการสึกหรอ);
  TiOx1Cx2Nx3- ไททาเนียมคาร์โบไนด์
  Gr- โครเมียม (สีขาว);
  TiOx- ไททาเนียมออกไซด์ (สีน้ำเงิน, หลากสี, มาเธอร์ออฟเพิร์ล);
  นิโกร- nichrome (สีเทาอ่อน);
  ZrN- เซอร์โคเนียมไนไตรด์ (สีทองอ่อน);
  ทั้งอลูมิเนียม ทองแดง ฯลฯ ตามคำขอของลูกค้า
 สี ความแข็ง และพารามิเตอร์อื่นๆ ของสารเคลือบอาจแตกต่างกันไปตามวัสดุและเฉดสีที่หลากหลาย
 ลักษณะสำคัญของไมโครเซอร์กิต ได้แก่ ความเร็ว หน้าสัมผัสไฟฟ้า รูปแบบเมทริกซ์ เป็นต้น เพื่อเสริมความเป็นหนึ่งในที่สุด พารามิเตอร์ที่สำคัญ- ความเร็ว - จำเป็นต้องเพิ่มการนำไฟฟ้าของหน้าสัมผัสไฟฟ้า ที่สุด ด้วยวิธีง่ายๆการทำเช่นนี้คือการดูดฝุ่นสะสมองค์ประกอบผ่านหน้ากากหลวม ทองคำมีค่าการนำไฟฟ้าที่ดีมาก ซึ่งทำให้สามารถเพิ่มความเร็วในการส่งข้อมูลได้
ชิปหน่วยความจำ PRAM จาก Intel (รูปที่ A2.6.)
 Material: ทอง (เงิน)
 
ข้าว. ป2.6.ชิป Intel PRAM
ตลับลูกปืนธรรมดา ปั๊มหอยโข่ง(รูปที่ A2.6.)
 ตัวคุณเอง ลักษณะเด่นแบริ่งเป็นทรัพยากรของมัน เพื่อเพิ่มมัน ตลับลูกปืนธรรมดาได้พัฒนา เทคโนโลยีพิเศษการฉีดพ่นด้วยผงนาโน ในกระบวนการพ่นเพื่อระเบิด ได้สารเคลือบโครงสร้างนาโนที่มีปริมาณโมโนคาร์ไบด์ 62% การทดสอบสารเคลือบสำหรับการเสียดสีและการสึกหรอในน้ำแสดงให้เห็นว่ามีค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสีลดลง ซึ่งเป็นภาระการสึกกร่อนสูงเมื่อเทียบกับการเคลือบผงเซรามิกแบบทั่วไป
 เทคโนโลยี: การสะสมสูญญากาศ
 อุตสาหกรรม: วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์และไฟฟ้า
 Material: ผงแม่เหล็ก BZMP ที่ชุบแข็งอย่างรวดเร็วของระบบ Nd-Fe-B
ข้าว. ป2.6.แบริ่งธรรมดา
สเปรย์ความเร็วสูง
 การพ่นด้วยไฟด้วยความเร็วสูงถือเป็นเทคโนโลยีการพ่นที่ทันสมัยที่สุด สารเคลือบคาร์ไบด์โดยการฉีดด้วยความเร็วสูงทุกประการ เหนือกว่าการเคลือบสังกะสีกระบวนการสร้างซึ่งเป็นที่ยอมรับ ก่อมะเร็งได้มาก.
 ในตอนต้นของทศวรรษ 1980 มีการติดตั้งสปัตเตอร์ความเร็วสูงซึ่งออกแบบได้ง่ายกว่าและอิงจาก ลายคลาสสิค LRE ที่มีอัตราการไหลของก๊าซมากกว่า 2,000 ม./วินาที ความหนาแน่นของการเคลือบถึง 99% ใช้ผงของคาร์ไบด์ โลหะคาร์ไบด์ โลหะผสมที่มี Ni, Cu ฯลฯ เป็นวัสดุที่ใช้ ในรูป ป2.7. โครงร่างของเครื่องพ่นสารเคมีของระบบ VSN ถูกนำเสนอ
ข้าว. ป2.6.ไดอะแกรมของเครื่องพ่นสารเคมีแบบผงความเร็วสูง:
1 - การจ่ายผง (แกน); 2 - การจ่ายออกซิเจน; 3 - การจ่ายน้ำมันเชื้อเพลิง;
4 - การจ่ายผง (เรเดียล); 5 - ลำต้น
kayabaparts.ru - โถงทางเข้า ห้องครัว ห้องนั่งเล่น สวน. เก้าอี้. ห้องนอน