รายวิชา: การสะสมสูญญากาศ การใช้ฟิล์มในหน่วยสะสมสุญญากาศ

เคลือบสูญญากาศ– หลักการทำงานและเทคโนโลยีการพ่นพลาสมาแบบสุญญากาศ วิธีการสะสมสูญญากาศที่พบบ่อยที่สุด การสะสมไอออนสูญญากาศและหลักการทำงาน ขั้นตอนการสะสมสูญญากาศของอลูมิเนียมและประสิทธิภาพ คุณสมบัติหลักของการสะสมโลหะสุญญากาศและความแตกต่างจากการสะสมของโลหะสุญญากาศไอออนพลาสมา ฉันสามารถชดใช้โรงสะสมสูญญากาศในราคาต่ำได้ที่ไหน

การเคลือบสูญญากาศเป็นกระบวนการที่องค์กรสมัยใหม่ส่วนใหญ่ต้องการในขั้นตอนนี้ วิธีนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับการผลิตผลิตภัณฑ์ต่างๆ ซึ่งเกี่ยวข้องกับการดำเนินการต่อไป

มันอาจจะเหมือน อุปกรณ์ธรรมดาและผลิตภัณฑ์ทันตกรรมซึ่งยังต้องผ่านกระบวนการเคลือบสูญญากาศ ไม่ว่าจะฟังดูแปลกแค่ไหน อุตสาหกรรมการแพทย์ก็เป็นหนึ่งในพื้นที่ที่มีการใช้กระบวนการสะสมสูญญากาศบ่อยที่สุด ใช้ในอุตสาหกรรมนี้ได้ทั้งในการปรับปรุงคุณสมบัติของอุปกรณ์ในการทำงานและการเคลือบ วัสดุต่างๆหรือสินค้า.

หน่วยสะสมสุญญากาศเป็นหนึ่งในองค์ประกอบที่สำคัญที่สุดของกระบวนการนี้ น้อยคนนักที่จะโต้แย้งกับความจริงที่ว่ามันเป็นหน่วยสะสมสุญญากาศที่ช่วยให้กระบวนการนี้ดำเนินการได้และทำได้ค่อนข้างเร็ว หลักการทำงานของการติดตั้งดังกล่าวทำได้ง่ายที่สุด ในขั้นต้น สภาวะของการทำให้หายากหลักถูกสร้างขึ้นภายในระบบดังกล่าว ซึ่งช่วยให้คุณสามารถเปลี่ยนผงผลึกเป็นส่วนผสมพิเศษที่สามารถนำไปใช้เพิ่มเติมได้ สารเคลือบต่างๆ. นอกจากนี้ ภายในการติดตั้ง ระดับแรงดันจะเพิ่มขึ้นอย่างมาก ซึ่งนำไปสู่การก่อตัวของสุญญากาศภายในระบบ ถัดไป เครื่องดูดจะสร้างกระบวนการฉีดสเปรย์ที่เกาะติดทันที วัสดุที่เหมาะสมซึ่งจะคล้อยตามการประมวลผลดังกล่าว

อีกประเด็นที่สำคัญมากคือความน่าเชื่อถือของกระบวนการนี้ ตัดสินโดยการออกแบบและหลักการทำงานของการติดตั้งดังกล่าวไม่ยากที่จะเข้าใจสิ่งที่ได้ทำไปแล้วพวกเขาคิดออกให้มากที่สุด แต่ความเป็นไปได้ของความล้มเหลวของอุปกรณ์ดังกล่าวไม่สามารถตัดออกได้ แต่แม้สถานการณ์นี้จะไม่กลายเป็นเรื่องยากนักเพราะอุปกรณ์ดังกล่าวสามารถบำรุงรักษาและซ่อมแซมได้ง่ายมาก

วิธีการสะสมสูญญากาศ

โดยพิจารณาจากข้อเท็จจริงที่ว่า ตลาดสมัยใหม่รวมถึงอุตสาหกรรมต่าง ๆ จำนวนมาก ได้มีการตัดสินใจทำหลายวิธีในการสะสมสุญญากาศในคราวเดียว ทั้งหมดนี้มีเอกลักษณ์เฉพาะตัวและทำงานโดยใช้อัลกอริธึมที่ต่างไปจากเดิมอย่างสิ้นเชิง

ตอนนี้เราจะพิจารณาวิธีการสะสมสูญญากาศที่พบบ่อยที่สุด:

• การฉีดพ่นพลาสม่าไอออนแบบสุญญากาศ
• พ่นพลาสม่าสูญญากาศ
• สปัตเตอร์ไอออนสูญญากาศ

เหล่านี้เป็นสามประเภทที่ใช้กันมากที่สุดของการฉีดพ่นบน ช่วงเวลานี้. องค์กรส่วนใหญ่ใช้เทคโนโลยีนี้อย่างจริงจังโดยรับประโยชน์สูงสุดจากเทคโนโลยีนี้ และนี่แสดงให้เห็นแล้วว่าหากต้องการจาก วิธีนี้คุณสามารถใช้ประโยชน์สูงสุดจากมันได้จริงๆ

พ่นพลาสม่าสูญญากาศ

วิธีการสะสมสูญญากาศที่พบบ่อยที่สุดคือการสะสมพลาสม่าแบบสุญญากาศ เทคโนโลยีของกระบวนการนี้ทำได้ง่ายที่สุดและประกอบด้วยการทำงานของพลาสมาภายใน องค์ประกอบนี้ทำหน้าที่เป็นตัวแทนจำหน่ายซึ่งทำให้กระบวนการฉีดพ่นมีคุณภาพสูงสุด

นอกจากนี้ วิธีนี้ยังสามารถอวดความถูกต้องของการเคลือบผลิตภัณฑ์ได้อีกด้วย และทั้งหมดเป็นเพราะภายในการติดตั้งประเภทนี้ รหัสได้รับการสร้างและติดตั้งไว้ล่วงหน้าตามที่ระบบดังกล่าวมักจะใช้งานได้

การสะสมไอออนสูญญากาศ

การสะสมสูญญากาศประเภทนี้จะคล้ายกับก่อนหน้านี้มากที่สุด ความแตกต่างที่ชัดเจนที่สุดของเทคโนโลยีนี้ คุณสามารถเรียกกระบวนการไอออไนซ์เบื้องต้นได้ ซึ่งช่วยให้คุณเร่งเวิร์กโฟลว์ได้อย่างมาก

การปรากฏตัวของไอออนทำงานภายในหน่วยสะสมสุญญากาศไม่เพียงแต่ปรับปรุงคุณภาพของกระบวนการทำงาน แต่ยังทำให้เชื่อถือได้มากขึ้นและที่สำคัญกว่านั้นคือเร็วขึ้น

เคลือบอลูมิเนียมสูญญากาศ

หากเราพูดถึงว่าวัสดุใดที่คล้อยตามกระบวนการสะสมสูญญากาศได้บ่อยที่สุดก็คืออลูมิเนียม เหตุผลก็คือขอบเขตของโลหะนี้ซึ่งมีการใช้งานอย่างแข็งขันในเกือบทุกอุตสาหกรรม

แต่ในหลาย ๆ วิธีวิธีนี้จำเป็นต้องมีความทนทานและเชื่อถือได้มากขึ้น เพื่อจุดประสงค์นี้จึงได้มีการสร้างโรงสะสมสูญญากาศอลูมิเนียมขึ้น กระบวนการนี้เบาที่สุดเท่าที่เป็นไปได้ เนื่องจากวัสดุทำงานได้ดีมากกับส่วนผสมที่ใช้กับมันในระหว่างการสะสมในสุญญากาศ

การสะสมของโลหะด้วยสุญญากาศ

หากเราพูดถึงกระบวนการสะสมโลหะแบบสุญญากาศแล้ว กระบวนการนี้ก็จะง่ายยิ่งขึ้นไปอีก เทคโนโลยีการพ่นโลหะนั้นง่ายที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ ซึ่งเป็นเหตุผลว่าทำไมทุกองค์กรจึงคุ้นเคยกับการใช้งาน สำหรับการเคลือบชั้นสเปรย์คุณภาพสูงบนโลหะ คุณเพียงแค่ต้องนำไปที่อุณหภูมิที่ต้องการเท่านั้น นี่เป็นเงื่อนไขเดียวที่ควรปฏิบัติตามระหว่างการสะสมแบบสุญญากาศ

หลายคนเชื่อว่านี่เป็นข้อได้เปรียบหลักของกระบวนการสะสมโลหะแบบสุญญากาศ

การฉีดพ่นพลาสม่าไอออนแบบสุญญากาศ

ความซับซ้อนที่สุดในแง่ของการออกแบบและในขณะเดียวกันก็มีประสิทธิภาพคือกระบวนการสะสมไอออนพลาสมาแบบสุญญากาศ เทคโนโลยีนี้รวมถึงการโต้เถียงจำนวนมากและมาก จุดสำคัญโดยที่มันเป็นไปไม่ได้อย่างชัดเจนที่จะบรรลุประสิทธิภาพในระดับสูง

การใช้วิธีนี้ทำให้สามารถผลิตไททาเนียมทับถมแบบสุญญากาศหรือการสะสมของแก้วแบบสุญญากาศโดยไม่มีปัญหาใดๆ และสิ่งนี้บ่งชี้ว่าความเก่งกาจของวิธีนี้อยู่ที่ระดับสูงสุด

เครื่องพ่นสูญญากาศ UVN

แต่ไม่ว่าคุณจะเลือกการสะสมแบบสุญญากาศแบบใด โดยไม่ใช้ยูนิตสะสมแบบสุญญากาศ UVN คุณก็ไม่น่าจะประสบความสำเร็จในเรื่องนี้ ในขั้นตอนนี้ค่าใช้จ่ายในการติดตั้งดังกล่าวอยู่ในระดับสูงอย่างเจ็บปวด

แต่ถ้าเราพูดถึงประสิทธิภาพแล้วก็ไม่มีข้อสงสัยเลย เมื่อซื้อยูนิตที่คล้ายกันมาให้คุณ คุณมั่นใจได้เลยว่าเมื่อเวลาผ่านไป เขาจะสามารถเอาเงินที่ลงทุนไปคืนมาทั้งหมดได้

วัตถุประสงค์การทำงานหลักของหน่วยสุญญากาศคือการสร้างและรักษาสุญญากาศทางเทคนิค ซึ่งทำได้โดยการปั๊มส่วนผสมออกจากระบบ โรงงานสูญญากาศใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมโลหะ, สิ่งทอ, เคมี, ยานยนต์, อาหารและยา ส่วนหลักของการติดตั้ง ได้แก่ ปั๊ม แผงพร้อมฟิลเตอร์ ชุดควบคุมกล้อง

การนำทาง:

การใช้พืชสุญญากาศ

การติดตั้งสูญญากาศสามารถใช้สำหรับการวิจัยในห้องปฏิบัติการ รวมอยู่ในไมโครสโคป โครมาโตกราฟี เครื่องระเหย และระบบการกรอง เพื่อวัตถุประสงค์เหล่านี้ มวลรวมที่จะไม่ถูกครอบครอง พื้นที่ขนาดใหญ่. ประสิทธิภาพของหน่วยดังกล่าวไม่ได้อยู่ในสถานที่แรก ส่วนใหญ่มักจะเป็นปั๊ม forevacuum หรือ turbomolecular เมื่อทำงานกับก๊าซที่มีฤทธิ์รุนแรง วิธีที่ดีที่สุด- ปั๊มไดอะแฟรม

ระบบสูญญากาศมีบทบาทสำคัญใน อุปกรณ์ทดสอบ. พวกเขาให้อัตราการปีนที่จำเป็นสำหรับเครื่องบิน เพื่อให้กระบวนการขึ้นหรือลงจอดได้สำเร็จจำเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจ ความเร็วที่รวดเร็วสูบน้ำ

ปั๊มแบบแห้งใช้สำหรับการติดตั้งเซมิคอนดักเตอร์และสูญญากาศแบบสปัตเตอร์ สำหรับการสะสมของวัสดุ สมบูรณ์แบบสำหรับการสร้างสุญญากาศสูงพิเศษ ซึ่งรวมถึงปั๊ม turbomolecular และ cryogenic

ในอุตสาหกรรมโลหะวิทยา มีการใช้ปั๊มอย่างแข็งขันซึ่งมีเพียงพอ ปริมาณงาน. ต้องทนต่อการสึกหรอ เนื่องจากมีฝุ่นและสิ่งสกปรกในระบบ รับมือกับงานในกรงเล็บทรงกลมอุตสาหกรรมได้อย่างสมบูรณ์แบบและ ปั๊มสกรูดำเนินการสูบน้ำ forevacuum อาจใช้ปั๊มกระจาย

หน่วยสุญญากาศ 976A เป็นประเภทห้องปฏิบัติการ ออกแบบมาเพื่อกำหนดความอิ่มตัวของน้ำของแอสฟัลต์คอนกรีตในห้องปฏิบัติการ ปริมาตรการทำงานของห้องคือ 2 ลิตร หน่วยสุญญากาศสามารถสร้างสุญญากาศขั้นสุดท้ายขนาด 1x10-2 ได้

องค์ประกอบของการติดตั้งสูญญากาศ

การติดตั้งเครื่องดูดสูญญากาศจะสร้างและบำรุงรักษาสุญญากาศที่ใช้งานได้ในปริมาตรสุญญากาศที่แน่นอน ตามกฎแล้วองค์ประกอบที่มีจุดประสงค์เดียวกันใน หลากหลายชนิดการติดตั้ง ประกอบด้วยชุดควบคุมพร้อมขาตั้งควบคุม ชุดสูญญากาศ อุปกรณ์เครื่องดูดควัน ระบบทำความเย็น ระบบสูญญากาศ และตัวขับกระดิ่ง ระบบสุญญากาศประกอบด้วยปั๊มประเภทใดก็ได้ หน่วยสุญญากาศ ท่อส่ง มาตรวัดสุญญากาศ และการรั่วไหลของแม่เหล็กไฟฟ้า

ระบบสูญญากาศ Busch

ระบบสุญญากาศของ Busch นั้นเป็นปั๊มสุญญากาศคุณภาพสูงอย่างแรกเลย บริษัทผลิตหน่วยต่างๆ เช่น ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน R5 มีคุณภาพสูงและประสิทธิภาพสูง ความดันที่ จำกัด ของตัวเครื่องอยู่ระหว่าง 0.1 ถึง 20 hPa ความเร็วในการสูบน้ำปานกลางถึง 1800 m3/h ประการที่สองคือปั๊มกลีบและคอมเพรสเซอร์ หนึ่งในนั้นคือรุ่นมิงค์ ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกรณีที่จำเป็นต้องรักษาระดับสุญญากาศให้คงที่ ความดันจำกัดอยู่ที่ 20 ถึง 250 hPa ความเร็วในการสูบน้ำสามารถเข้าถึง 1150 m3/h

การติดตั้งเครื่องดูดฝุ่น Bulat

ตัวอย่างหนึ่งของการติดตั้งสำหรับการเคลือบฟิล์มบางคือรุ่น Bulat ทำให้เกิดการประยุกต์ใช้ฟิล์มในลักษณะสูญญากาศพลาสม่า สามารถเคลือบด้วยวัสดุนำไฟฟ้าอื่นๆ ได้แก่ โมลิบดีนัม เซอร์โคเนียม ไนไตรด์ และคาร์โบไนไตรด์ ในขั้นต้น แบบจำลองนี้ได้รับการพัฒนาสำหรับการเคลือบฟันปลอมที่เป็นโลหะ การติดตั้งรวมถึงสถานีสูบน้ำ เครื่องมือดูดฝุ่นด้านหน้า และอุปกรณ์ไฟฟ้าที่เกี่ยวข้อง

ผู้ผลิตระบบสูญญากาศรายอื่น

Agilent Technologies เป็นหนึ่งในผู้ผลิตอุปกรณ์สูญญากาศรายใหญ่ที่สุด องค์กรเปิดตัวการผลิต ปั๊มสุญญากาศ, เครื่องตรวจจับรอยรั่ว เกจสุญญากาศ น้ำมันสุญญากาศ และส่วนประกอบอื่นๆ ของระบบ

แอร์ไดเมนชั่นอิงค์ เชี่ยวชาญในการผลิตจำนวนมากของปั๊มไดอะแฟรมคุณภาพสูงที่สุ่มตัวอย่างก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน เช่นเดียวกับคอมเพรสเซอร์ไดอะแฟรมแห้ง

Edwards ผลิตห้องปฏิบัติการและเทคโนโลยีสุญญากาศทางอุตสาหกรรม ได้แก่ ปั๊มสุญญากาศ เกจวัดสุญญากาศ และอื่นๆ อุปกรณ์เสริม. มีชื่อเสียงในการปล่อยตัว ช่วงกว้างปั๊มประเภทต่างๆ

โรงงานเคลือบสูญญากาศ

ด้วยความช่วยเหลือของการติดตั้งการเคลือบแบบสุญญากาศ (UVN) ทำขึ้น ส่วนต่างๆสารเคลือบที่ทำหน้าที่นำไฟฟ้า ฉนวน ทนต่อการสึกหรอ กั้น และหน้าที่อื่นๆ วิธีนี้เป็นวิธีที่พบได้บ่อยที่สุดในบรรดากระบวนการไมโครอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ ที่ใช้การทำให้เป็นโลหะ ด้วยการติดตั้งดังกล่าว ทำให้สามารถรับสารเคลือบป้องกันแสงสะท้อน การกรองและการสะท้อนแสงได้

อลูมิเนียม ทังสเตน ไททาเนียม เหล็ก นิกเกิล โครเมียม ฯลฯ สามารถใช้เป็นวัสดุเคลือบได้ หากจำเป็น สามารถเติมอะเซทิลีน ไนโตรเจน และออกซิเจนลงในสื่อได้ การเปิดใช้งาน ปฏิกิริยาเคมีในระหว่างการให้ความร้อน การแตกตัวเป็นไอออน และการแยกตัวของก๊าซ หลังจากขั้นตอนการเคลือบแล้ว การประมวลผลเพิ่มเติมไม่ต้องการ.

การติดตั้ง UVN-71 P-3 สามารถทดสอบการฉีดพ่นทางเทคโนโลยีได้ มีส่วนร่วมในการผลิตจำนวนมากของวงจรฟิล์มต่างๆ ด้วยความช่วยเหลือ ฟิล์มบางจึงถูกผลิตขึ้นภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง วิธีการที่ใช้คือการระเหยด้วยความต้านทานของโลหะ

หน่วยสุญญากาศ UV-24 ทำการทดสอบในห้องปฏิบัติการของแอสฟัลต์คอนกรีต ช่วยในการกำหนดคุณภาพของมัน คุณสมบัติที่โดดเด่นของหน่วยนี้ - มีถังอพยพสองถังซึ่งเชื่อมต่อถึงกัน

แมกนีตรอนสปัตเตอร์

ในการสปัตเตอร์แมกนีตรอน ฟิล์มบางจะถูกสะสมโดยวิธีการแคโทดสปัตเตอร์ อุปกรณ์ที่ใช้วิธีนี้เรียกว่าแมกนีตรอนสปัตเตอร์ การติดตั้งนี้สามารถพ่นโลหะและโลหะผสมได้หลายชนิด เมื่อใช้ในสภาพแวดล้อมการทำงานต่างๆ ที่มีออกซิเจน ไนโตรเจน คาร์บอนไดออกไซด์ เป็นต้น ได้รับภาพยนตร์ที่มีองค์ประกอบต่างกัน

ไอออนสปัตเตอร์

หลักการทำงานของการติดตั้งไอออนในสุญญากาศคือการทิ้งระเบิดของของแข็งด้วยไอออน เมื่อวางพื้นผิวในสุญญากาศ อะตอมจะกระทบกับพื้นผิวและเกิดฟิล์มขึ้น

วิธีการฉีดพ่นอื่นๆ

การสะสมของสุญญากาศสามารถทำได้โดยใช้แบทช์และอุปกรณ์ต่อเนื่อง โรงงานแบทช์ใช้สำหรับชิ้นงานจำนวนหนึ่ง ในการผลิตจำนวนมากหรือแบบต่อเนื่องจะใช้การติดตั้งแบบต่อเนื่อง อุปกรณ์ฉีดพ่นมีทั้งแบบเดี่ยวและหลายห้อง ในการติดตั้งแบบหลายห้อง โมดูลการสะสมจะถูกจัดเรียงเป็นชุด ในห้องทั้งหมดจะมีการฉีดพ่นวัสดุบางอย่าง ระหว่างโมดูลจะมีช่องล็อกและอุปกรณ์ลำเลียงสำหรับขนย้าย พวกเขาดำเนินการสร้างสูญญากาศ, การระเหยของวัสดุฟิล์ม, การขนส่งแยกต่างหาก

หน่วยสุญญากาศ

เครื่องสูบน้ำแบบวงแหวนน้ำสูญญากาศ VVN 12 จะแยกอากาศ ก๊าซที่ไม่รุนแรง และสารผสมอื่นๆ ที่ไม่ได้รับการทำความสะอาดจากความชื้นและฝุ่นละออง ก๊าซที่เข้าสู่โรงงานไม่ต้องการการทำให้บริสุทธิ์

หน่วยสปูลสุญญากาศ AVZ 180 เป็นสากล มี ตัวบ่งชี้ที่ดีแรงดันตกค้างสูงสุด น้ำหนักเบา และรวดเร็วและกะทัดรัด

ลักษณะทางเทคนิคของชุดแกนสุญญากาศ AVZ 180

หน่วยสุญญากาศ AVR 50 สามารถสูบลม ก๊าซที่ไม่รุนแรง ไอระเหย และส่วนผสมของก๊าซไอระเหยจากพื้นที่สุญญากาศ ไม่ได้มีไว้สำหรับสูบองค์ประกอบข้างต้นจากภาชนะหนึ่งไปยังอีกภาชนะหนึ่ง ประกอบด้วยปั๊ม 2 ตัว: NVD-200 และ 2NVR-5DM

สวัสดีเพื่อน.

เรื่องราวเริ่มเร็วขึ้นเล็กน้อย เมื่อเราได้ห้องสุญญากาศ เส้นทางที่เธอมาหาเรานั้นไม่ใกล้เคียงและสามารถอธิบายได้เป็นเรื่องราวที่แยกจากกัน แต่อย่างที่พวกเขาพูดกันว่าเป็น "เรื่องราวที่แตกต่างไปจากเดิมอย่างสิ้นเชิง" ฉันสามารถพูดได้เพียงว่าก่อนหน้านี้มันทำให้ผู้คนได้รับประโยชน์จากหนึ่งในห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัย Göttingen

สิ่งแรกที่เราเริ่มใช้ห้องสุญญากาศด้วยคือลองใช้วิธีการสะสมความร้อนของโลหะบนพื้นผิว วิธีการนี้เรียบง่ายและเก่าแก่เหมือนโลก เป้าหมายของโลหะที่สปัตเตอร์ เช่น เงิน ถูกวางไว้ในเบ้าหลอมโมลิบดีนัม วางไว้รอบๆ องค์ประกอบความร้อน. เราใช้ลวดโลหะผสมทังสเตน-รีเนียมซึ่งมีการพันเป็นเกลียว

อุปกรณ์สเปรย์ความร้อนที่สมบูรณ์มีลักษณะดังนี้:

เครื่องมือสำหรับการพ่นด้วยความร้อนของโลหะ แต่. ประกอบแล้ว (ถอดหน้าจอป้องกันและวาล์วออก) การกำหนด: 1 – เบ้าหลอม 2 – องค์ประกอบความร้อน 3 – ท่อไอน้ำ 4 – ตะกั่วปัจจุบัน 5 – เทอร์โมคัปเปิล 6 – เฟรมตัวอย่าง

หลังจากกระแสไหลผ่าน (เข้าไปในห้องสูญญากาศผ่านผนึกแรงดัน) เกลียวจะร้อนขึ้นทำให้เรือร้อนขึ้นซึ่งวัสดุเป้าหมายก็ร้อนขึ้นและระเหยไปด้วย เมฆของไอโลหะลอยขึ้นตามท่อส่งไอน้ำและห่อหุ้มร่างกายซึ่งจำเป็นต้องวางฟิล์มโลหะไว้

วิธีการนั้นง่ายและดี แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน: การใช้พลังงานสูง เป็นการยากที่จะวางพื้นผิว (ร่างกาย) ไว้ในก้อนเมฆไอน้ำซึ่งจำเป็นต้องวางฟิล์ม การยึดเกาะยังไม่ดีที่สุด นำไปใช้กับ วัสดุต่างๆรวมถึงโลหะ แก้ว พลาสติก ฯลฯ โดยพื้นฐานแล้ว - เพื่อวัตถุประสงค์ในการวิจัย เนื่องจากเราเชี่ยวชาญเฉพาะอุปกรณ์สูญญากาศเท่านั้น

ตอนนี้ได้เวลาพูดถึงระบบสุญญากาศแล้ว การทดลองได้ดำเนินการในห้องสุญญากาศที่ติดตั้งระบบสุญญากาศซึ่งประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศด้านหน้าแบบโรตารี่และเทอร์โบโมเลคิวลาร์ และจัดให้มีแรงดันตกค้าง 9.5 10 -6 - 1.2 10 -5 มม. ปรอท
หากในแวบแรกดูเหมือนว่าไม่ยากแล้วที่จริงแล้วไม่ใช่ ประการแรก ตัวห้องต้องมีความหนาแน่นที่จำเป็นต่อการรักษาสุญญากาศในระดับสูง ทำได้โดยการปิดผนึกครีบและช่องเปิดที่ใช้งานได้ทั้งหมด โดยหลักการแล้วฝาครอบครีบบนและล่างจะเหมือนกัน ซีลยางรวมถึงรูที่เล็กที่สุดที่ออกแบบมาสำหรับการติดตั้งหน้าต่าง เซ็นเซอร์ อุปกรณ์ ซีลแรงดัน และฝาครอบหน้าแปลนอื่นๆ เฉพาะเส้นผ่านศูนย์กลางที่ใหญ่กว่ามากเท่านั้น ตัวอย่างเช่น เพื่อการปิดผนึกที่เชื่อถือได้ของรูดังกล่าว

ต้องใช้หน้าแปลน ประเก็น และรัด ตามภาพนี้

เซ็นเซอร์นี้จะวัดสูญญากาศในห้องเพาะเลี้ยง สัญญาณจากอุปกรณ์ไปที่อุปกรณ์ซึ่งแสดงระดับสูญญากาศสูง

เครื่องดูดฝุ่น ระดับที่ต้องการ(เช่น 10-5 mmHg) ทำได้ดังนี้ ขั้นแรก ปั๊มสุญญากาศด้านหน้าถูกปั๊มสุญญากาศระดับต่ำออกไปที่ระดับ 10-2 เมื่อไปถึงระดับนี้ ปั๊มสุญญากาศสูง (เทอร์โบโมเลคิวลาร์) จะเปิดขึ้น ซึ่งโรเตอร์สามารถหมุนได้ที่ความเร็ว 40,000 รอบต่อนาที ในเวลาเดียวกัน ปั๊ม foreline ยังคงทำงาน - ปั๊มแรงดันจากปั๊ม turbomolecular เอง หลังเป็นหน่วยที่ค่อนข้างตามอำเภอใจและอุปกรณ์ "บาง" ของมันมีบทบาทบางอย่างในเรื่องนี้ เราใช้เครื่องสูบน้ำเทอร์โบโมเลคิวลาร์แบบสุญญากาศของโอซาก้าของญี่ปุ่น

แนะนำให้ปล่อยอากาศที่สูบออกจากห้องที่มีไอน้ำมันออกสู่บรรยากาศ เนื่องจากหยดน้ำมันละเอียดสามารถ "กระเซ็น" ไปทั่วทั้งห้องได้

หลังจากจัดการกับระบบสูญญากาศและคำนวณการสะสมความร้อน เราจึงตัดสินใจลองใช้วิธีอื่นในการเคลือบฟิล์ม - แมกนีตรอน เรามีประสบการณ์ยาวนานในการสื่อสารกับห้องปฏิบัติการขนาดใหญ่แห่งหนึ่ง ซึ่งใช้การเคลือบนาโนที่ใช้งานได้กับเราสำหรับการพัฒนาบางส่วนโดยใช้วิธีการแมกนีตรอนสปัตเตอร์ นอกจากนี้ เรามีความสัมพันธ์ใกล้ชิดกับบางหน่วยงานของ MEPhI, Moscow Higher Technical School และมหาวิทยาลัยอื่นๆ ซึ่งช่วยให้เราเชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีนี้

แต่เมื่อเวลาผ่านไป เราต้องการใช้ความเป็นไปได้ที่ช่องสูญญากาศมีให้มากขึ้น

ในไม่ช้า เราก็มีแมกนีตรอนขนาดเล็ก ซึ่งเราตัดสินใจปรับให้เข้ากับชั้นฟิล์ม

เป็นวิธีสูญญากาศแมกนีตรอนสำหรับการสะสมของโลหะบางและฟิล์มเซรามิกซึ่งถือเป็นหนึ่งในวิธีการสะสมทางกายภาพที่ให้ประสิทธิผล ประหยัด และง่ายที่สุดวิธีหนึ่ง ได้แก่ การระเหยด้วยความร้อน แมกนีตรอน ไอออน เลเซอร์ ลำอิเล็กตรอน แมกนีตรอนถูกติดตั้งไว้ที่ครีบอันใดอันหนึ่งซึ่งสะดวกต่อการใช้งาน อย่างไรก็ตาม นี่ยังไม่เพียงพอสำหรับการสะสม เนื่องจากต้องใช้แรงดันไฟฟ้า น้ำหล่อเย็น และก๊าซเพื่อให้แน่ใจถึงการจุดไฟในพลาสมา

ทัศนศึกษาเชิงทฤษฎี

แมกนีตรอนถูกจัดเรียงอย่างง่ายดังนี้ บนฐานซึ่งทำหน้าที่เป็นวงจรแม่เหล็กนั้นจะมีแม่เหล็กแรงสูงวางอยู่ซึ่งเป็นสนามแม่เหล็กแรงสูง ในทางกลับกัน แม่เหล็กถูกปกคลุมด้วยแผ่นโลหะ ซึ่งทำหน้าที่เป็นแหล่งกำเนิดของวัสดุที่สปัตเตอร์และเรียกว่าเป้าหมาย ศักยภาพถูกนำไปใช้กับแมกนีตรอน และดินถูกนำไปใช้กับร่างกายของห้องสุญญากาศ ความต่างศักย์ที่เกิดขึ้นระหว่างแมกนีตรอนกับตัวเครื่องในบรรยากาศที่หายากและ สนามแม่เหล็กนำไปสู่สิ่งต่อไปนี้ อะตอมของก๊าซอาร์กอนที่สร้างพลาสมาตกลงไปในการกระทำของเส้นสนามแม่เหล็กและสนามไฟฟ้า และแตกตัวเป็นไอออนภายใต้การกระทำของพวกมัน อิเล็กตรอนที่ถูกขับออกมาจะถูกดึงดูดเข้าสู่ร่างกายของห้อง ไอออนบวกถูกดึงดูดไปยังเป้าหมายแมกนีตรอนและเมื่อเร่งความเร็วภายใต้การกระทำของเส้นสนามแม่เหล็กแล้วกระแทกเป้าหมายโดยกระแทกอนุภาคออกจากมัน มันบินออกไปในมุมตรงข้ามกับมุมที่ไอออนของอะตอมอาร์กอนกระทบกับเป้าหมาย อนุภาคโลหะลอยออกจากเป้าหมายไปยังพื้นผิวที่อยู่ตรงข้าม ซึ่งสามารถทำจากวัสดุใดๆ ก็ได้

เพื่อนในมหาวิทยาลัยของเราได้สร้างแหล่งจ่ายไฟ DC ที่มีกำลังไฟประมาณ 500 วัตต์สำหรับเครื่องแมกนีตรอนเครื่องนี้

นอกจากนี้เรายังได้สร้างระบบจ่ายก๊าซสำหรับก๊าซอาร์กอนที่สร้างพลาสมา

เพื่อรองรับวัตถุที่จะฉีดพ่นฟิล์ม เราได้สร้างอุปกรณ์ดังต่อไปนี้ มีรูเทคโนโลยีอยู่ที่ฝาครอบของห้องเพาะเลี้ยง ซึ่งสามารถติดตั้งอุปกรณ์ต่าง ๆ ได้: แหล่งจ่ายพลังงานไฟฟ้า, แรงดันฟีดทรู, หน้าต่างโปร่งใส, เซ็นเซอร์และอื่น ๆ ในรูใดรูหนึ่งเหล่านี้ เราได้ติดตั้งซีลแรงดันของเพลาหมุน นอกห้องเพาะเลี้ยง เรานำการหมุนมาที่เพลานี้จากมอเตอร์ไฟฟ้าขนาดเล็ก โดยการตั้งค่าความเร็วของการหมุนของดรัมที่ลำดับ 2-5 เฮิรตซ์ เราได้รับความสม่ำเสมอที่ดีในการใช้ฟิล์มรอบๆ เส้นรอบวงของดรัม

จากด้านล่าง กล่าวคือ ภายในห้องนั้น เราติดตะกร้าโลหะเบาไว้บนด้าม ซึ่งสามารถแขวนสิ่งของต่างๆ ได้ ในร้านขายเครื่องเขียน กลองมาตรฐานดังกล่าวขายเป็นตะกร้าขยะและมีราคาประมาณ 100 รูเบิล

ตอนนี้เรามีสินค้าเกือบทุกอย่างที่จำเป็นสำหรับการติดฟิล์มแล้ว เราใช้โลหะต่อไปนี้เป็นเป้าหมาย: ทองแดง ไททาเนียม สแตนเลส อะลูมิเนียม โลหะผสมทองแดง-โครเมียม

และพวกเขาก็เริ่มฝุ่น ผ่านหน้าต่างโปร่งใสเข้าไปในห้อง เราสามารถสังเกตพลาสมาเรืองแสงบนพื้นผิวของเป้าหมายแมกนีตรอน ด้วยวิธีนี้ เราควบคุม “ด้วยตา” โมเมนต์ของการจุดไฟในพลาสมาและความเข้มข้นของการสะสมตัว

วิธีการควบคุมความหนาของการฉีดพ่นนั้นทำได้ค่อนข้างง่าย วางฟอยล์ชิ้นเดียวกันกับพื้นที่ผิวที่วัดได้บนถังซัก และวัดมวลของฟอยล์ก่อนและหลังช่วงการฉีดพ่น เมื่อทราบความหนาแน่นของโลหะที่สะสม ความหนาของสารเคลือบที่สะสมก็คำนวณได้ง่าย ความหนาของการเคลือบถูกควบคุมโดยการเปลี่ยนเวลาการสะสมหรือโดยการปรับแรงดันไฟฟ้าที่แหล่งพลังงานแมกนีตรอน ภาพนี้แสดงเครื่องชั่งที่แม่นยำซึ่งช่วยให้คุณวัดมวลของตัวอย่างได้อย่างแม่นยำถึงหนึ่งหมื่นกรัม

เรานำไปใช้กับวัสดุต่างๆ: ไม้, โลหะ, ฟอยล์, พลาสติก, กระดาษ, ฟิล์มโพลีเอทิลีน, ผ้า, กล่าวโดยย่อ ทุกสิ่งทุกอย่างที่สามารถวางไว้ในห้องเพาะเลี้ยงและยึดติดกับถังซักได้ โดยพื้นฐานแล้ว เรามุ่งเน้นไปที่การได้รับเอฟเฟกต์การตกแต่ง - การเปลี่ยนสีหรือการรับรู้ที่สัมผัสได้ของพื้นผิว ในตัวอย่างแหล่งกำเนิดอินทรีย์และอนินทรีย์เหล่านี้ คุณจะเห็นความแตกต่างของสีก่อนและหลังการใช้ฟิล์มโลหะต่างๆ

ยิ่งเห็นความแตกต่างของสีก่อนและหลังการพ่นบนผ้าและฟิล์มได้ชัดเจนยิ่งขึ้น นี่คือชิ้นส่วนที่ถูกต้องของปกติ ฟิล์มโพลีเอทิลีน- ไม่ฉีดพ่น แต่ด้านซ้ายปกคลุมด้วยชั้นทองแดง

ผลกระทบอีกประการหนึ่งที่สามารถใช้ได้กับความต้องการที่หลากหลายคือการนำของฟิล์มบางบนพื้นผิว ภาพนี้แสดงความต้านทานของแผ่นกระดาษ (เป็นโอห์ม) ที่มีชั้นไททาเนียมบางๆ ที่มีความหนาเพียงไมครอน

สำหรับการพัฒนาเพิ่มเติม เราได้เลือกหลายทิศทาง หนึ่งในนั้นคือการปรับปรุงประสิทธิภาพการสะสมฟิล์มด้วยแมกนีตรอน เราจะ "เหวี่ยง" ไปที่การพัฒนาและการผลิตแมกนีตรอนที่ทรงพลังกว่าด้วยความสูงของกล้องและพลังที่มากกว่าที่แสดงในบทความนี้ถึง 2 เท่า นอกจากนี้เรายังต้องการทดสอบเทคโนโลยีของการสะสมปฏิกิริยาเมื่อรวมกับอาร์กอนก๊าซที่สร้างพลาสมาออกซิเจนหรือไนโตรเจนถูกป้อนเข้าไปในห้องและในระหว่างการสะสมฟิล์มบนพื้นผิวของพื้นผิวไม่ใช่ฟิล์มโลหะบริสุทธิ์ แต่ออกไซด์หรือไนไตรด์ซึ่งมีคุณสมบัติช่วงต่างจากสารบริสุทธิ์ ฟิล์มโลหะ

การชุบผิวด้วยโลหะแบบสุญญากาศทำให้สามารถเสริมประสิทธิภาพได้ ลักษณะเชิงบวกผลิตภัณฑ์จากวัสดุต่างๆ ชิ้นส่วนโลหะได้รับการปกป้องจากการกัดกร่อน นำไฟฟ้าได้ดีขึ้น สวยงามขึ้น การเคลือบโลหะของผลิตภัณฑ์พลาสติกช่วยให้คุณได้ชิ้นส่วนคุณภาพสูงและสวยงามจากวัสดุที่เบากว่าและราคาถูกกว่า นี่เป็นเรื่องจริงโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมยานยนต์เพราะการชุบโลหะ ส่วนประกอบพลาสติกสามารถลดน้ำหนักของยานพาหนะได้อย่างมาก เคลือบโลหะ ขนให้ความพิเศษเฉพาะตัวของเสื้อคลุมขนสัตว์ ความคิดริเริ่ม และเป็นเทรนด์ใหม่ของฤดูกาล

ในบริษัท "Alfa-K" คุณสามารถสั่งซื้อสเปรย์โลหะแบบสุญญากาศสำหรับผลิตภัณฑ์จากวัสดุต่างๆ รวมถึงขนสัตว์

วิธีการ

สาระสำคัญของเทคโนโลยีอยู่ที่ความจริงที่ว่าภายใต้สภาวะสุญญากาศบน อุปกรณ์พิเศษอนุภาคโลหะที่เล็กที่สุดจะถูกถ่ายโอนไปยัง พื้นผิวการทำงานช่องว่าง ในระหว่างการก่อตัวของสารเคลือบ โลหะดั้งเดิมจะระเหย ควบแน่น ดูดซับ และตกผลึกในตัวกลางที่เป็นก๊าซ ทำให้เกิดการเคลือบที่เสถียร คุณสมบัติของฟิล์มโลหะและโหมดการสะสมที่เลือก ได้เอฟเฟกต์ที่หลากหลายทั้งนี้ขึ้นอยู่กับชนิดของชิ้นงาน โลหะเกือบทั้งหมดสามารถพ่นได้: อลูมิเนียม นิกเกิล โครเมียม ทองแดง บรอนซ์ ทอง ไททาเนียม ฯลฯ โดยคำนึงถึงคุณสมบัติและคุณสมบัติเฉพาะ โลหะแต่ละชนิดต้องใช้โหมดและเทคนิคที่แตกต่างกัน ตัวอย่างเช่น เนื่องจากความต้านทานการสึกหรอต่ำ เทคโนโลยีพิเศษจึงต้องการการสะสมของอะลูมิเนียมแบบสุญญากาศ นั่นคือเหตุผลที่บริษัทของเราจ้างเฉพาะผู้ทรงคุณวุฒิและ ผู้เชี่ยวชาญที่มีประสบการณ์. การทำให้เป็นโลหะทำได้หลายวิธี

พลาสม่าสูญญากาศ

ในระบบดังกล่าว ภายใต้แรงดันแก๊สระดับหนึ่ง สารเคลือบที่เป็นโลหะถูกสร้างขึ้นโดย ความร้อนสูงแหล่งโลหะทำให้เกิดการระเหยและอนุภาคจะเกาะอยู่บนชิ้นงาน ตัวกล้องอาจเป็นโลหะ แก้ว จำเป็นต้องมีระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ เพื่อให้ความร้อนแก่องค์ประกอบที่ฉีดพ่นจะใช้เครื่องระเหยต่อไปนี้:

• ลวดหรือเทปทังสเตนหรือโมลิบดีนัมระเหยความร้อนโดยตรง;
• อิเล็กตรอนเรเดียลสร้างความร้อนด้วยการทิ้งระเบิดด้วยไฟฟ้า

ตามแหล่งที่มาของโลหะหรือโลหะผสมที่ต้องฉีดพ่นลงบนชิ้นส่วน อุณหภูมิความร้อนในตัวแลกเปลี่ยนความร้อนถูกตั้งค่าไว้ สามารถเข้าถึง 20,000 ° C ถ้าโลหะที่จะฉีดไม่มาก การยึดเกาะที่ดีกับวัสดุชิ้นงาน ขั้นแรก ให้ใช้ชั้นหลักของโลหะที่มีคุณสมบัติการยึดติดสูง

ไอออนสูญญากาศ

ข้อได้เปรียบหลักของวิธีนี้คือไม่จำเป็นต้องให้ความร้อนแก่เครื่องระเหยอย่างมาก โลหะถูกพ่นภายใต้อิทธิพลของการทิ้งระเบิดด้วยไอออนของก๊าซที่มีประจุลบ การสร้างสภาพแวดล้อมดังกล่าวเป็นไปได้เนื่องจากการปลดปล่อยพิเศษภายในห้องทำงาน ในการทำเช่นนี้อุปกรณ์จะใช้ระบบแม่เหล็กที่มีการระบายความร้อน การปล่อยเรืองแสงสำหรับการฉีดพ่นองค์ประกอบที่ฉีดพ่นจะถูกสร้างขึ้นระหว่างอิเล็กโทรด 2 อันเนื่องจากการจ่าย ไฟฟ้าแรงสูงสูงถึง 4 kV ใน ห้องทำงานสร้างสภาพแวดล้อมที่เป็นก๊าซด้วยความดันสูงถึง 0.6 ปาสกาล โดย หลักการคล้ายคลึงกันการฉีดพ่นด้วยไอออนพลาสม่าแบบสุญญากาศยังดำเนินการกับอุปกรณ์พิเศษอีกด้วย

พื้นผิวที่เหมาะสมสำหรับการฉีดพ่น

รายการใด ๆ ที่สามารถทนความร้อนได้ถึง 80 ° C และสัมผัสกับสารเคลือบเงาพิเศษ ข้อดีของเทคโนโลยีคือเพื่อให้ผลิตภัณฑ์ได้รับผลกระทบจากการเคลือบทองแดง, การชุบโครเมี่ยมกระจก, การปิดทอง, การชุบนิกเกิล, ไม่จำเป็นต้องขัดพื้นผิวล่วงหน้า บ่อยขึ้นโดย การทำให้เป็นโลหะสูญญากาศหุ้มชิ้นส่วนที่ทำจากพลาสติก แก้ว โลหะผสม โพลีเมอร์และผลิตภัณฑ์เซรามิกต่างๆ น้อยกว่าปกติ แต่ยังคงใช้เทคโนโลยีให้มากขึ้น วัสดุที่อ่อนนุ่มเช่น ไม้ สิ่งทอ ขนสัตว์

การรักษา ช่องว่างโลหะและผลิตภัณฑ์จากโลหะผสมเนื่องจากความเข้ากันได้ดีของฐานและสารเคลือบไม่จำเป็นต้องใช้เพิ่มเติม เสบียง. ในขณะที่โพลีเมอร์ต้องลงสีพื้นด้วยสารป้องกันและกาวก่อน เพื่อป้องกันการเปลี่ยนรูปของช่องว่างโพลีเมอร์และลดความเครียดในสภาพแวดล้อมการทำงานในระหว่างการทำให้เป็นโลหะด้วยสุญญากาศ ส่วนประกอบดัดแปลงพิเศษและโหมดการแพร่กระจายของวัสดุถูกนำมาใช้

ขั้นตอนของการทำให้เป็นโลหะ

กระบวนการทางเทคโนโลยีของการสะสมสูญญากาศของโลหะบนผลิตภัณฑ์ต่าง ๆ รวมถึงหลายขั้นตอนต่อเนื่อง:

• การเตรียมรายละเอียด สิ่งสำคัญคือชิ้นงานมีค่าสูงสุด แบบง่ายๆโดยปราศจากสถานที่ที่ยากต่อการเข้าถึงเพื่อให้คอนเดนเสทตกตะกอน
• ใช้การป้องกัน จำเป็นต้องใช้สารเคลือบป้องกันการแพร่กระจายบนฐานโพลีเมอร์ที่มีสารตัวเติมที่มีน้ำหนักโมเลกุลต่ำ
• การอบแห้ง ชิ้นส่วนจะถูกทำให้แห้งที่อุณหภูมิ 80 องศาเซลเซียสเป็นเวลา 3 ชั่วโมงซึ่งช่วยให้คุณสามารถขจัดความชื้นที่ดูดซับได้
• ล้างไขมัน ในห้องสุญญากาศ ชิ้นงานจะถูกกำจัดออกโดยใช้การปล่อยแสง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับโครงสร้างของโพลีเมอร์
• การประมวลผลการเปิดใช้งาน เลือกวิธีการประมวลผลขึ้นอยู่กับวัสดุของผลิตภัณฑ์ จำเป็นต้องเพิ่มการยึดเกาะของพื้นผิวก่อนการเคลือบโลหะ
• พ่นโลหะ. โดยการควบแน่นจะทำให้เกิดชั้นเคลือบโลหะบนชิ้นงาน
• การควบคุมคุณภาพการเคลือบ รายละเอียดการตกแต่งตรวจสอบความสม่ำเสมอของการฉีดพ่นและความแข็งแรง ผลิตภัณฑ์ด้านเทคนิคได้รับการทดสอบเพิ่มเติมด้วยเทปกาว การสั่นด้วยคลื่นอัลตราโซนิก การเสียดสี ฯลฯ

โรงงานแปรรูปโลหะเป็นอุปกรณ์ที่ค่อนข้างซับซ้อนและมีราคาแพงซึ่งใช้ไฟฟ้าเป็นจำนวนมาก ในการสร้างวัฏจักรเทคโนโลยีที่ซับซ้อนจำเป็นต้องมีห้องที่ค่อนข้างกว้างขวางเนื่องจากควรวางอุปกรณ์มัลติฟังก์ชั่นหลายตัว ส่วนประกอบหลักของระบบสุญญากาศ:

• แหล่งจ่ายไฟและชุดควบคุมร่วมกับแหล่งโลหะควบแน่น
• ระบบจ่ายแก๊สที่สร้างพื้นที่สุญญากาศและควบคุมการไหลของก๊าซ
• ห้องทำงานสำหรับการชุบโลหะด้วยสุญญากาศ
• บล็อกของการควบคุมความร้อน การควบคุมความหนาและความเร็วของการสะสม คุณสมบัติของสารเคลือบ
• หน่วยลำเลียงมีหน้าที่ในการเปลี่ยนตำแหน่งของชิ้นงาน การจ่ายและการนำออกจากห้องเพาะเลี้ยง
• อุปกรณ์กั้นยูนิต ตัวกรองแก๊ส แดมเปอร์ และอุปกรณ์เสริมอื่นๆ

อุปกรณ์สูญญากาศแมกนีตรอนและไอออนพลาสม่าสามารถมีขนาดแตกต่างกัน ตั้งแต่ขนาดเล็กที่มีขนาดหลายลิตรไปจนถึงขนาดใหญ่มาก โดยมีปริมาตรของห้องหลายลูกบาศก์เมตร

Alfa-K มีกำลังการผลิตเพียงพอและอุปกรณ์ที่เหมาะสมเพื่อให้มั่นใจ วิธีต่างๆการสะสมสูญญากาศ เราสามารถสั่งเคลือบผลิตภัณฑ์ด้วยไอออนพลาสม่าจากวัสดุใดๆ ที่มีโลหะ เช่น ไททาเนียม ทองแดง อลูมิเนียม ทองเหลือง โครเมียม โลหะผสมต่างๆ ฯลฯ เรารับประกัน คุณภาพสูงงานและราคาที่เหมาะสม

ข้อมูลทางทฤษฎี

การพัฒนาอย่างรวดเร็วของการผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (MED) ในทศวรรษที่ผ่านมา นำไปสู่การสร้างอุปกรณ์การทำงานที่จะมีผลกระทบน้อยที่สุดต่อกระบวนการสร้างฟิล์มบางและจะสามารถควบคุมพารามิเตอร์ได้ ส่งผลให้ขณะนี้มี ทางเลือกที่ยิ่งใหญ่โรงงานสุญญากาศ ชิ้นส่วนส่วนประกอบ ตลอดจนวัสดุและวิธีการติดตั้งที่ช่วยแก้ปัญหาทางเทคโนโลยีที่ซับซ้อนในการผลิต MEP

กระบวนการได้ฟิล์มบางเกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมสุญญากาศของอุปกรณ์ฝาของหน่วยสุญญากาศ สามารถใช้หลักการสองประการเพื่อลดแรงดันในอุปกรณ์ฝา ในขั้นแรก แก๊สจะถูกขับออกจากห้องสุญญากาศแล้วขับออกไป ตัวอย่างของโหมดการทำงานนี้คือปั๊มแบบกลไกและแบบไอพ่น ปั๊มน้ำมันแบบไอน้ำ วิธีการสูบน้ำอีกวิธีหนึ่งขึ้นอยู่กับการควบแน่นหรือการกักโมเลกุลของแก๊สบนบางส่วนของพื้นผิวของห้องสุญญากาศโดยไม่ต้องเอาก๊าซออกสู่ภายนอก บนหลักการนี้ ปั๊มไครโอเจนิกส์ เกตเตอร์ และเจตเตอร์ - ไอออนได้รับการออกแบบมา

การวัดปริมาณของการถ่ายโอนหรือการดูดซึมของก๊าซโดยปั๊มคือความจุ (Q) ประสิทธิภาพการทำงานขึ้นอยู่กับแรงดันในอุปกรณ์อพยพ และถูกกำหนดให้เป็นปริมาณของก๊าซที่ไหลผ่านท่อดูดของปั๊มที่ทำงานอยู่ต่อหน่วยเวลาที่ t = 20 0 C:

คิว = fp · พี

โดยที่ Fp – ความเร็วในการสูบ l/s; P คือความดันของก๊าซที่สูบ mm Hg ศิลปะ.

พารามิเตอร์อีกตัวหนึ่งที่บ่งบอกลักษณะการทำงานของปั๊มคือความเร็วของปั๊ม Fp ซึ่งกำหนดเป็นอัตราส่วนของประสิทธิภาพของปั๊มต่อแรงดันบางส่วนของก๊าซที่กำหนดใกล้กับทางเข้าของปั๊ม:

Fp = Q/P

ปั๊มสุญญากาศส่วนใหญ่มีความเร็วในการสูบน้ำเกือบคงที่เหนือระดับความดันก๊าซหลายระดับ ด้านบนและด้านล่างของพื้นที่นี้ลดลงอย่างรวดเร็ว ดังนั้นการปั๊มด้วยปั๊มสุญญากาศแบบนี้จะไม่มีประสิทธิภาพ

เมื่อเลือกปั๊มสำหรับการติดตั้งแบบสุญญากาศ ต้องจำไว้ว่าปั๊มเองภายใต้เงื่อนไขบางประการเป็นแหล่งของก๊าซตกค้างในห้องสุญญากาศ ประเภทต่างๆปั๊มแตกต่างกันอย่างมากทั้งในปริมาณและลักษณะของก๊าซที่ปล่อยออกมา อันตรายอย่างยิ่งคือร่องรอยของไอระเหยของสารประกอบอินทรีย์อันเนื่องมาจากสารทำงานที่ใช้ในปั๊ม

พารามิเตอร์หลักของปั๊มยังรวมถึงแรงดันสูงสุด Pg ซึ่งเป็นแรงดันขั้นต่ำที่สามารถรับได้โดยใช้ปั๊มสุญญากาศหากตัวปั๊มเองไม่ปล่อยก๊าซ

สำหรับปั๊มโรตารี่ Pg ขึ้นอยู่กับ "ปริมาตรที่ไม่ดี" ของปั๊ม (นั่นคือส่วนหนึ่งของห้องอัดซึ่งก๊าซที่มาจากวัตถุที่สูบไม่สามารถถูกแทนที่ได้) และความดันไอของสาร เช่น น้ำมัน ใช้สำหรับปิดผนึก สำหรับปั๊มไอพ่น Pg ขึ้นอยู่กับความเร็วของโมเลกุลไอน้ำในหัวฉีด ความเร็วของโมเลกุลของแก๊สในปริมาตรที่สูบ และน้ำหนักโมเลกุลของแก๊ส

แรงดันภายนอก (ขาเข้า) ที่อนุญาตคือสูงสุด ความดันที่อนุญาตก๊าซที่ทางออกของปั๊มนั่นคือแรงดันที่ความเร็วปั๊มยังคงเท่ากับค่าสูงสุด สำหรับปั๊ม foreline ที่อัดแก๊สให้เป็นความดันบรรยากาศ แรงดันทางออกที่อนุญาตจะเท่ากับความดันบรรยากาศ สำหรับปั๊มสุญญากาศสูง แรงดันทางออกที่อนุญาตจะเท่ากับแรงดัน foreline

กระบวนการสูบน้ำของอุปกรณ์ฝาปิดที่มีปริมาตร V และแรงดันเริ่มต้น Po ที่ดำเนินการโดยปั๊มใดๆ ที่มีความเร็วปั๊ม Fp และแรงดันที่จำกัด Pg สามารถอธิบายได้โดยใช้ สมการเชิงอนุพันธ์มาจากกฎของบอยล์-มาริออตต์ มีการอธิบายแรงดันตกคร่อมเมื่อเวลาผ่านไป สมการต่อไปนี้:

DP/dt = Fp/V(P - Pg) (1)

คำตอบของสมการอนุพันธ์นี้จะให้ลักษณะของการเปลี่ยนแปลงของเวลา t ของความดัน P ในภาชนะที่อพยพ

ในกรณีของปั๊ม "ในอุดมคติ" Fp = Fp max = const ลักษณะของปั๊ม P คือเส้นตรง ปั๊มความเร็ว Fp ทั้งหมด ปั๊มเทคนิคไม่เหมือน "อุดมคติ" มันขึ้นอยู่กับแรงกดดัน , ดังนั้น ลักษณะเวลาของการเปลี่ยนแปลงความดันมักจะไม่ได้มาจากการคำนวณ กล่าวคือ โดยการรวมสมการที่ 1 แต่ถูกกำหนดจากการทดลอง

อุปกรณ์ติดตั้งเครื่องพ่นสารเคมีสุญญากาศ

หน่วยสูญญากาศได้รับการออกแบบเพื่อสร้างและรักษาสูญญากาศในปริมาณการทำงาน (อุปกรณ์ฝา) การติดตั้งประกอบด้วยหน่วยสูญญากาศและชั้นวางควบคุม โครงสร้างบล็อกสูญญากาศ (รูปที่ 1.1) คือร่างกาย 1 ซึ่งติดตั้งอุปกรณ์ฝาครอบ 2 ระบบสูญญากาศ, ระบบระบายความร้อน, ระบบแก๊สและยกฝากระโปรงหน้าแบบไฮดรอลิค ในอุปกรณ์ฝาปิด ความดันในการทำงานของก๊าซถูกตั้งค่าตั้งแต่ 1·10 -3 ถึง 5·10 -4 mm Hg ศิลปะ. และวัสดุของเป้าหมายที่สปัตเตอร์จะถูกวางลงบนพื้นผิวโดยใช้อุปกรณ์สปัตเตอร์

ระบบสุญญากาศของการติดตั้ง (รูปที่ 1.2) ประกอบด้วยปั๊มกล NVR-5D และหน่วยสุญญากาศ VA-2-3R-N, กล่องวาล์ว, การรั่วไหลของแม่เหล็กไฟฟ้า, ท่อและเซ็นเซอร์สำหรับวัดความดัน

รูปที่ 1.1 รูปร่างการติดตั้ง: 1 - ที่อยู่อาศัย; 2 - หมวก; 3 - ระบบ

เครื่องดูดฝุ่น; 4 - ระบบระบายความร้อน; 5 – กลไกการผสม;

6 - อุปกรณ์สเปรย์; 7 - กล่องวาล์ว; 8 - เกจสูญญากาศ

ท่อของระบบสุญญากาศเชื่อมต่อกับปั๊มเชิงกล อุปกรณ์ฝาปิด และท่อทางออกของปั๊มน้ำมันไอน้ำ วาล์ว - วาล์วรั่วถูกออกแบบมาเพื่อลดแรงดันการทำงาน

วิธีการสูบน้ำของระบบสุญญากาศของการติดตั้งถูกควบคุมโดยชุดควบคุมระบบสุญญากาศ

ในการเริ่มปั๊มเชิงกล คุณต้องเปิดสวิตช์สลับที่เหมาะสมบนแผงควบคุม ในกรณีนี้ สตาร์ทเตอร์แบบแม่เหล็กถูกเปิดใช้งาน ซึ่งปกติหน้าสัมผัสเปิดหนึ่งตัวจะกลายเป็นตัวล็อคตัวเอง และด้วยหน้าสัมผัสอื่นอีกสามตัว มอเตอร์ไฟฟ้าสำหรับขับเคลื่อนปั๊มระบบเครื่องกลไฟฟ้าในชุดสุญญากาศ

รูปที่ 1.2 ระบบการติดตั้งสูญญากาศ: 1 - ปั๊มกล NVR-5D;

2 - ที่จับด้านล่างของกล่องวาล์ว; 3 - การรั่วไหลของแม่เหล็กไฟฟ้า;

4 - ที่จับด้านบนของกล่องวาล์ว; 5 - กล่องวาล์ว;

6 - เทอร์โมคัปเปิล; 7 - เซ็นเซอร์มาโนเมตริก 8 - วาล์วรั่ว;

9 - ชัตเตอร์; 10 - หน่วยสูญญากาศประเภท VA-2-3RM; 11 - ท่อส่ง

ในการเปิดปั๊มเชิงกล คุณต้องเปิดสวิตช์สลับที่เกี่ยวข้องบนแผงควบคุม ในกรณีนี้ สตาร์ทแม่เหล็กถูกเปิดใช้งาน ซึ่ง

หน้าสัมผัสแบบเปิดปกติหนึ่งตัวจะล็อคตัวเอง และหน้าสัมผัสอีกสามตัวจะเปิดมอเตอร์ไฟฟ้าเพื่อขับเคลื่อนปั๊มไฟฟ้าในหน่วยสุญญากาศ

การเปิดเครื่องทำความร้อนของปั๊มน้ำมันไอน้ำ EN-1 ทำได้หลังจากเปิดปั๊มเชิงกลแล้วเท่านั้น เนื่องจากสตาร์ทแบบแม่เหล็กได้รับพลังงานจากหน้าสัมผัสเปิดตามปกติของสตาร์ทเตอร์แบบแม่เหล็ก ในขณะที่ไฟสัญญาณจะสว่างบนแผงควบคุม

ด้วยความช่วยเหลือของกล่องวาล์ว 2 ทำให้มีการสลับระบบสูญญากาศทั้งหมดที่จำเป็นสำหรับการทำงานของเครื่อง ตัวควบคุมกล่องวาล์ววางอยู่ที่เสาด้านหน้าของยูนิต (รูปที่.1.1) เมื่อดึงที่จับด้านบนออก ปั๊มเชิงกลจะสูบปริมาณการทำงานของอุปกรณ์ฝาปิดออก เมื่อดึงที่จับด้านล่างออก ช่องของปั๊มน้ำมันไอน้ำจะถูกสูบออก

วาล์วแม่เหล็กไฟฟ้าตั้งอยู่บนกล่องวาล์ว 5 และออกแบบมาเพื่อทางเข้า อากาศในบรรยากาศเข้าไปในท่อของปั๊มกล

การรวมวาล์วแม่เหล็กไฟฟ้าทำโดยสวิตช์ "รั่ว" ที่อยู่ในชุดควบคุมของระบบสูญญากาศ วาล์วจะทำงานก็ต่อเมื่อปั๊มเชิงกลปิดอยู่ เมื่อขยายที่จับด้านล่างของกล่องวาล์ว อากาศในบรรยากาศจะเข้าสู่โพรงของปั๊มไอน้ำมันด้วยวาล์วรั่วเดียวกัน โครงสร้างวาล์วรั่วเป็นโซลินอยด์ซึ่งส่วนท้ายทำในรูปแบบของวาล์วปิดผนึก ทางเข้ามีแผ่นกรองแก้วที่มีรูพรุนซึ่งดักจับฝุ่นละอองในอากาศ

การควบคุมสูญญากาศดำเนินการโดยเกจสูญญากาศ VIT-2 จากเซ็นเซอร์ที่เชื่อมต่อโดยสวิตช์ "การเลือกเซ็นเซอร์"

เมื่อสวิตช์ "การเลือกเซนเซอร์" ถูกตั้งค่าเป็น "1" เกจวัดสุญญากาศจะวัดสุญญากาศระดับต่ำในส่วนหน้า เมื่อตั้งค่าเป็นตำแหน่ง "2" สูญญากาศสูงในอุปกรณ์ฝาปิดจะวัดโดยใช้เซ็นเซอร์ความดันไอออไนเซชัน เมื่อเปลี่ยนเป็นตำแหน่ง "0" เซ็นเซอร์ทั้งสองจะปิด

ปั๊มสูญญากาศเครื่องกล ปั๊มใบพัดโรตารี่พร้อมซีลน้ำมันได้รับการออกแบบสำหรับการสูบลม ก๊าซที่ไม่ใช้งานทางเคมี และส่วนผสมของก๊าซไอระเหยซึ่งไม่ส่งผลต่อวัสดุก่อสร้างและสารทำงาน โดยปกติปั๊มดังกล่าวสามารถสูบไอระเหยที่ควบแน่นและของผสมของไอระเหย-แก๊สที่มีความเข้มข้นที่ยอมรับได้

กระบวนการสูบก๊าซในปั๊มใบพัดหมุนขึ้นอยู่กับการดูดทางกลของก๊าซเนื่องจากการเพิ่มขึ้นเป็นระยะในห้องทำงาน

หลักการทำงานของปั๊มดังกล่าวแสดงไว้ในรูปที่ 1.3 และดำเนินการดังนี้

รูปที่ 1.3 ปั๊มใบพัดหมุน: 1 - กระบอกสูบ; 2 - โรเตอร์; 3 - ใบมีด;

4 - สปริง; 5 - วาล์ว; A และ B - ฟันผุ

ในกระบอกสูบ 1 ในทิศทางที่ระบุโดยลูกศร โรเตอร์ 2 ที่ติดตั้งแบบเยื้องศูนย์จะหมุน ใบมีด 3 ถูกวางไว้ในช่องของโรเตอร์ซึ่งกดกับสปริง 4 พื้นผิวด้านในกระบอก เมื่อโรเตอร์หมุน ใบมีดจะเลื่อนไปตามพื้นผิวด้านในของกระบอกสูบ ช่องที่เกิดจากกระบอกสูบ โรเตอร์ และใบมีดจะแบ่งออกเป็นช่อง A และช่อง B

เมื่อโรเตอร์หมุน ปริมาตรของโพรง A จะเพิ่มขึ้นเป็นระยะและก๊าซจากระบบอพยพจะเข้ามา ปริมาตรของช่อง B ลดลงเป็นระยะและเกิดการบีบอัด ก๊าซอัดถูกขับออกทางวาล์ว 5 การผนึกระหว่างห้องดูด A และห้องบีบอัด B ถูกทำโดยฟิล์มน้ำมัน นี่คือวิธีการทำงานของปั๊มแบบขั้นตอนเดียว ในเวอร์ชันสองขั้นตอน ทางออกของสเตจแรกเชื่อมต่อกับทางเข้าของสเตจที่สอง และก๊าซจะถูกปล่อยสู่บรรยากาศผ่านวาล์ว

ปั๊มใบพัดหมุนทั้งหมดมีการออกแบบที่คล้ายกัน แต่มีขนาดแตกต่างกัน ซึ่งกำหนดความเร็วการสูบของปั๊ม การออกแบบปั๊มใบพัดหมุนแบบขั้นตอนเดียวแสดงไว้ในรูปที่ 1.4

เมื่อต่อปั๊มเข้ากับ ระบบสูญญากาศ, ท่อต้องมีความยาวสั้นและมีเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่ไม่น้อยกว่าเส้นผ่านศูนย์กลางของทางเข้าปั๊ม การไม่ปฏิบัติตามเงื่อนไขเหล่านี้จะทำให้ความเร็วในการสูบน้ำของปั๊มลดลง

ปั๊มใบพัดหมุนแบบกลไก VN-05-2 ที่ใช้ในการติดตั้งมีหลักดังต่อไปนี้ ลักษณะการทำงาน:

ความเร็วในการสูบน้ำ 0.5 ลิตร/วินาที

แรงดันตกค้าง 5·10 -3 mm Hg. ศิลปะ.

ปั้มน้ำมันไอน้ำสูญญากาศสูงปั๊มน้ำมันไอน้ำสุญญากาศแรงสูง H-05 ออกแบบมาสำหรับสูบลม ก๊าซที่ไม่รุนแรง ไอระเหย

และส่วนผสมของไอน้ำและก๊าซ

ต้องใช้งานปั๊มร่วมกับปั๊มเสริมก่อนระบายออกเท่านั้น ตำแหน่งของปั๊มน้ำมันไอน้ำในระบบสุญญากาศสูงแสดงในรูปที่ 1.5

ปั๊มไอน้ำมันและไอน้ำแบบสามขั้นตอนที่ใช้กันอย่างแพร่หลายประกอบด้วยส่วนประกอบหลักดังต่อไปนี้: ปลอกหุ้ม ท่อส่งไอน้ำ เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า แผ่นเบี่ยงน้ำมัน และรีเลย์ไฮดรอลิก การออกแบบเครื่องสูบน้ำแสดงในรูปที่ 1.5

ตัวเรือนปั๊ม 1 เป็นกระบอกเหล็กที่มีก้นเชื่อมเข้ากับหน้าแปลน หน้าแปลนขาเข้า 2 ท่อทางออกที่มีหน้าแปลน 3 ในการติดตั้งชิ้นส่วนอีเจ็คเตอร์ จะมีหน้าแปลน 4 แฉกบนท่อทางออก

รูปที่ 1.5 แบบฟอร์มทั่วไปปั๊ม: 1 - เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า; 2 - ท่อส่งไอน้ำ; 3 - ร่างกาย; 4 - แผ่นเบี่ยงน้ำมัน; 5 - หัวฉีด; 6 - พอดโซลนิก;

7 - หัวฉีด; 8 - พอดโซลนิก; 9 - หัวฉีดอีเจ็คเตอร์

ส่วนโครงสร้างหลักของปั๊มคือท่อส่งไอน้ำซึ่งน้ำมันไหลเวียนในลักษณะที่ไอน้ำมันจากหม้อไอน้ำที่อยู่ในส่วนล่างของตัวเรือนผ่านช่องไอน้ำเข้าสู่หัวฉีดด้านบน ด้านล่าง และตัวดีดออก ควบแน่นบนผนังเย็นของเรือนปั๊มและท่อทางออก น้ำมันไหลเข้าสู่หม้อไอน้ำก่อนเข้าสู่ส่วนของหม้อไอน้ำที่เกี่ยวข้องกับหัวฉีด (ทางออก) สุดท้ายและสุดท้ายเท่านั้นผ่านเขาวงกตจะเข้าสู่ส่วนที่เกี่ยวข้องกับท่อส่งไอน้ำภายในที่สำคัญที่สุดที่ส่งไอน้ำไปยัง หัวฉีดสูญญากาศ เป็นผลให้หัวฉีดสูญญากาศสูงใกล้กับวัตถุที่สูบมากที่สุดทำงานเฉพาะกับน้ำมันที่มีแรงดันไออิ่มตัวต่ำที่สุดในขณะที่หัวฉีดที่ใกล้กับปั๊มสุญญากาศก่อนทำงานกับเศษส่วนที่เบาที่สุด

สายไอน้ำของปั๊มมีสามขั้นตอน สองขั้นตอนแรกเป็นแบบร่ม ขั้นตอนที่สามคือตัวดีดออก ไอน้ำมันจากหม้อไอน้ำผ่านท่อส่งไอน้ำเข้าสู่หัวฉีดของปั๊มสามขั้นตอนและไหลออกมาจากพวกมันจะก่อตัวเป็นไอพ่น ก๊าซที่อพยพจะกระจายเข้าสู่ไอพ่นไอน้ำและถูกส่งไปยังบริเวณที่ระบายออกเบื้องต้น ไอน้ำที่ไปถึงผนังปั๊มระบายความร้อนจะควบแน่นและไหลกลับเข้าสู่หม้อไอน้ำ

ปั๊มเริ่มทำงานตามลำดับต่อไปนี้:

ก) เปิดปั๊ม foreline และโดยการเปิดวาล์ว ให้ปั๊มออกจากระบบ

ด้วยปั้มน้ำมันแบบไอน้ำที่มีแรงดันสูงสุด 5·10 -2 - 1·10 -2 mmHg. ศิลปะ.;

b) ปล่อยให้น้ำเข้าไปทำให้ตัวเรือนปั๊มเย็นลง

c) เปิดเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าของปั้มน้ำมันไอน้ำ

หากต้องการหยุดปั๊ม ให้เปิดฮีตเตอร์ไฟฟ้าของปั๊มและจ่ายน้ำให้ด้านล่างเย็นลง หลังจากที่ปั๊มเย็นลงแล้ว ให้ปิดวาล์ว ปิดปั๊ม foreline และหยุดการจ่ายน้ำ

ลักษณะสำคัญของปั้มน้ำมันไอน้ำ:

แรงดันตกค้างสูงสุดไม่เกิน 5·10 -7 mmHg. ศิลปะ.

ความเร็วปั๊ม Fp 500 l/s

แรงดันทางออกสูงสุดไม่น้อยกว่า 0.25 มม. ปรอท ศิลปะ.

การรั่วไหลของอากาศในบรรยากาศไม่เกิน 0.02 l×mm Hg st./s

เกรดน้ำมัน VM-1 GOST 7904-56

การคายประจุเบื้องต้น VN-2MG หรือ NVR-5D

ขั้นตอนการทำงาน

1. เปิดเครื่องโดยเปลี่ยนเครื่อง "เครือข่าย" ไปที่ตำแหน่ง "เปิด"

2. เปิดปั๊มเชิงกลโดยเลื่อนปุ่มสวิตช์ไปที่ตำแหน่ง "เปิด"

3. ปั๊มปริมาตรของปั๊มไอน้ำ - น้ำมัน เปิดวาล์วด้านล่างของกล่องวาล์ว

4. เปิดเครื่องทำความร้อนปั๊มไอน้ำด้วยสวิตช์สลับ "เปิด"

5. หลังจากเปิดเครื่องทำความร้อนปั๊มไอน้ำน้ำมันหลังจาก 35-40 นาทีแล้ว ให้เปิดเครื่องป้อนไนโตรเจน

6. หลังจากอุ่นเครื่องปั๊มไอน้ำ-น้ำมัน ให้ปิดวาล์วด้านล่างและปั๊มปริมาตรใต้ฝาปิดในขั้นต้นโดยเปิดวาล์วด้านบนของกล่องวาล์ว

7. บันทึกและวาดกราฟคุณลักษณะ P(t) ในระหว่างการสูบออกบนปั๊มเชิงกล สำหรับสิ่งนี้ ภายในหนึ่งชั่วโมง ให้บันทึกการอ่านเกจวัดสุญญากาศของเทอร์โมคัปเปิลทุก 10 นาที นำข้อมูลเข้าสู่ตารางแล้ววาดเส้นโค้ง P(t)

8. ถอดและพล็อตคุณสมบัติ P(t) สำหรับปั๊มกระจาย การทดลองดำเนินการในลักษณะเดียวกับในวรรค 7

9. ประเมินความสามารถของปั๊มทั้งสองเมื่อถึงระดับก่อนสูญญากาศ: กลไกเป็นเวลา 40 นาที สุญญากาศสูงเป็นเวลา 1 ชั่วโมง

10. ให้ข้อสรุปเกี่ยวกับสุญญากาศเบื้องต้นที่สามารถหาได้จากระบบสูบน้ำที่เสนอ

11. ข้อมูลที่ได้รับระหว่างการทดลองควรนำเสนอในรูปแบบของตารางและกราฟ

คำถามทดสอบ

1. สูญญากาศถูกจำแนกอย่างไร อธิบายหลักการทำงานของหน่วยสะสมสุญญากาศ จุดประสงค์ของโหนด

2. อธิบาย ลำดับที่ถูกต้องการเปิดและปิดปั๊มสุญญากาศใน โรงงานสูญญากาศ. อธิบายว่าสิ่งใดจำกัดสูญญากาศสูงสุดที่สามารถรับได้จากการติดตั้งดังกล่าว

3. อธิบายการทำงานของปั้มน้ำมันไอน้ำ

4. อธิบายการทำงานของปั๊มกล

5. อธิบายหลักการของการวัดค่าสุญญากาศและการทำงานของเซ็นเซอร์ความร้อนและไอออนไนซ์

6. อธิบายวัตถุประสงค์และการทำงานของวาล์ว - รั่ว

7. อธิบายหลักการทำงานและการจัดวางกับดักไนโตรเจนและแม่เหล็กไฟฟ้า

8. แสดงความคิดเห็นเกี่ยวกับลักษณะสูญญากาศที่ได้รับของการติดตั้ง